![]() |
XRD ¿¡ ÀÇÇÑ Á¤¼ººÐ¼® (ïÒàõÝÂà°, Qualitative Analysis)X¼±È¸Àý¹ý¿¡ ÀÇÇÑ Á¤¼ººÐ¼®Àº ¹ÌÁö½Ã·áÀÇ È¸Àý pattern °ú ÀÌ¹Ì ¾Ë°íÀÖ´Â ¹°ÁúÀÇ È¸Àý pattern µîÀ» ºñ±³ÇÏ¿© ÀüÀÚÁß¿¡ ÈÄÀÚÀÇ patternÀÌ Æ÷ÇԵǾî ÀÖÀ¸¸é, ÀüÀÚ¿¡´Â ÈÄÀÚÀÇ ¹°ÁúÀÌ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖ´Ù°í ÆÇÁ¤ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.ÀÌ ¹æ¹ýÀ¸·Î Á¤¼ººÐ¼®(Qualitative analysis)À» ÇàÇÏ´Â °ÍÀ» ºÐ¸»X¼±È¸Àý¹ý(Powder X-Ray Diffractometry)¿¡ ÀÇÇÑ Á¤¼ººÐ¼®, µ¿Á¤(ÔÒïÒ, Identification) À̶ó°í ÇÑ´Ù. ÀÌ¹Ì ¾Ë°íÀÖ´Â ¹°ÁúÀÇ È¸Àý patternÀ» Ç¥ÁØÀ¸·Î ÇÏ´Â ICDD card ÀÇ data°¡ ³Î¸® »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ºÐ¸»X¼±È¸Àý¹ý¿¡ ÀÇÇÑ µ¿Á¤¹ýÀÇ Æ¯Â¡À» ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ¿°Å ÇÏ¿´´Ù.
X¼±¿¡ ÀÇÇÑ µ¿Á¤¹ýÀº ´ÙÀ½°ú °°Àº ÇѰ谡 ÀÖÀ¸¹Ç·Î ´Ù¸¥ ºÐ¼®¹æ¹ýÀ» º´¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ´Ù.
1. Çϳª¿ÐÆ® ¹ý (Hanawalt method)µ¿Á¤ÀÇ ¹æ¹ý¿¡´Â Manual °Ë»ö°ú Computer °Ë»öÀÌ ÀÖ´Ù.Manual °Ë»ö¿¡´Â ¿©·¯°¡Áö°¡ ÀÖÀ¸¸ç Hanawalt ¹ýÀÌ ÀÖ´Ù. Hanawalt ¹ýÀº °¢ ¹°ÁúÀÇ È¸ÀýX¼±¿¡¼ °µµ°¡ °ÇѼøÀ¸·Î 3°³¸¦ ¼±ÅÃÇϰí À̰͵éÀÇ °ÝÀڸ鰣°Ý°ú »ó´ë°µµ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© »öÀμ(Index book)¿¡¼ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖ´Ù°í »ý°¢µÇ´Â °ÍÀ» ã°í, ´ÙÀ½¿¡ ICDD card ¿Í »ó¼¼È÷ ºñ±³Á¶ÇÕÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î µ¿Á¤ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. 1) ICDD card ¿Í »öÀμ(Index book)(1) ICDD cardICDD card ´Â ºÐ¸»X¼±È¸Àý Data ÀÇ Ç¥ÁØÀ¸·Î ³Î¸® ÀÌ¿ëµÈ´Ù.ÀÌ Card ´Â ÇϳªÀÇ ¹°Áú¿¡ ´ëÇÏ¿© ȸÀý Data(°ÝÀڸ鰣°Ý, ȸÀý¼±°µµ, Miller Index µî), °áÁ¤ÇÐÀû Data, ±¤ÇÐÀû Data ¹× ÃøÁ¤Á¶°Ç µîÀÌ 1ÀåÀÇ Card ¿¡ ±âÀçµÇ¾î ÀÖ´Ù. 1997³â 9¿ù ÇöÀç Set 47 ÀÌ °£ÇàµÇ¾úÀ¸¸ç, ¹«±âÈÇÕ¹°ÀÌ ¾à 47797¸Å, À¯±âÈÇÕ¹°ÀÌ ¾à 19399¸Å°¡ ¼ö·ÏµÇ¾î ÀÖ´Ù. ¸Å³â ¹«±âÈÇÕ¹°Àº ¾à 1500¸Å, À¯±âÈÇÕ¹°Àº ¾à 500¸ÅÀÇ Data°¡ Ãß°¡µÈ´Ù. ´ÙÀ½Àº ¼®¿µ(a-SiO2)ÀÇ ICDD Card ÀÌ´Ù.
´ÙÀ½ ±×¸²Àº ICDD Card ÀÇ ±âÀçÇü½ÄÀ» ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù.
½Å·Ú¼ºÀÇ Á¤µµ¸¦ ³ªÅ¸³»´Â Mark ´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº °ÍµéÀÌ ÀÖ´Ù. ¡Ú ´Â ½Å·Ú¼ºÀÌ ³ôÀº Data, i ´Â ȸÀý¼±ÀÇ °µµ¸¦ Àç°ËÅäÇÒ Çʿ䰡 Àִ°ÍÀÌ ÀÖ°í ¡Ú º¸´Ù Á¤¹Ðµµ°¡ ¶³¾îÁö´Â Data, C ´Â °è»ê¿¡ ÀÇÇØ ±¸ÇÑ Data °¡ Àִ°ÍÀ» Ç¥½ÃÇÑ´Ù. O ´Â ½Å·Ú¼ºÀÌ ¶³¾îÁö´Â Data ÀÌ´Ù. ¾Æ¹« Ç¥½Ãµµ ¾ø´Â°ÍÀº ¹«Æò°¡ Data ÀÌ´Ù. (2) »öÀμ(Index book)ICDD CardÀÇ °Ë»öÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î Çϱâ À§ÇÑ »öÀμµéÀº ´ÙÀ½ÀÇ 3Á¾·ù°¡ ÀÖ´Ù.(i) Search Manual (Hanawalt)-Inorganic Phases¹«±âÈÇÕ¹°ÀÇ Hanawalt¹ý »öÀμ·Î ¸Å³â °³Á¤µÈ´Ù.(ii) Alphabetical Index-Inorganic Phases¹«±âÈÇÕ¹°À» ÈÇÕ¹°¸íÀ¸·Î »öÀÎ µÇ¾îÀÖ´Ù.¶Ç ±Ç¸»¿¡ ±¤¹°¸í, ±Ý¼Ó ¹× ÇÕ±ÝÀ» »öÀÎÇÑ List µµ ÀÖ´Ù. ¸Å³â °³Á¤µÈ´Ù. (iii) Alphabetical Index & Search Manual-Organic PhasesÀ¯±âÈÇÕ¹°ÀÇ »öÀÎÀ¸·Î »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î Hanawalt¹ý, ÈÇÕ¹°¸í »öÀÎ, ÈÇÐ½Ä »öÀÎÀÌ Çѱǿ¡ ¸ð¾ÆÁ® ÀÖ´Ù.¶Ç, ÀÌ ¿Ü¿¡ Mineral Powder Diffraction File, Selected Powder Diffraction Data for Metal & Alloys µîÀÇ »öÀμµµ »ç¿ëÇÑ´Ù. ´ÙÀ½ ±×¸²Àº Hanawalt ¹ý »öÀμÀÇ ÀϺÎÀÌ´Ù. ![]() Hanawalt¹ý »öÀμÀÇ ÀϺΠ¨ç Àº d °ªÀÇ Å« ±¸ºÐÀ¸·Î 45°³ÀÇ Group À¸·Î ³ª´µ¾î ÀÖÀ¸¸ç, d °ªÀÌ Å« Group ºÎÅÍ ÀÛÀº Group À¸·Î ¹è¿µÇ¾î ÀÖ´Ù. ¨è ¿¡´Â ½Å·ÚÀÇ Á¤µµ¸¦ Ç¥½ÃÇÏ´Â Mark (¡Ú, i, C, O) °¡ ±âÀԵǾî ÀÖ´Ù. ¨é Àº ¼¼°³ÀÇ °¡Àå °ÇѼ±À¸·Î, 3.30x ´Â ¸é°£°Ý = 3.30 ![]() ![]() ¨é ¶õÀÇ °¡Àå ÁÂÃø´ÜÀÇ ¸é°£°ÝÀº ¨ç ÀÇ ±¸ºÐ¹üÀ§³»¿¡ ÀÖ´Ù. ¨ê ´Â 8°³ÀÇ °ÇѼ±, ¨ë ´Â ºÐÀÚ½Ä, ¨ì Àº ICDD card ¹øÈ£ÀÌ´Ù. ¨í Àº ½Ã·á¿¡ 50 wt% ÀÇ Alumina ¸¦ È¥ÇÕ ÇßÀ»¶§ÀÇ ½Ã·áÀÇ ÃÖ°¼± °µµ¸¦ a-Al2O3 ÀÇ ÃÖ´ë°µµ¿ÍÀÇ ºñ(»ó´ë°µµ I/Ic) ÀÌ´Ù. 2) µ¿Á¤(ÔÒïÒ)ÀÇ ¹æ¹ýHanawalt ¹ý¿¡ ÀÇÇÑ µ¿Á¤¼ø¼´Â ´ÙÀ½°ú °°´Ù.![]() ¹ÌÁö½Ã·áÀÇ Powder X-ray Diffration Chart À§ ±×¸²Àº ¹ÌÁö½Ã·áÀÇ X¼±È¸Àý ChartÀÇ Àüü ȸÀý¼± À̸ç, ´ÙÀ½ Ç¥´Â ȸÀýX¼±ÀÇ °¢µµ(2q)¸¦ ¸é°£°Ý(d°ª)À¸·Î, °µµ¸¦ »ó´ë°µµ(I/I1)·Î ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù. À̶§, °¢µµÀÇ ´«±ÝÀº 0.05o~0.1o ´ÜÀ§ (d°ªÀÇ À¯È¿¼ýÀÚ 3~4ÀÚ¸®) °µµ´Â Peak ÀÇ Å©±â·Î Çß´Ù.
´ÙÀ½¿¡ ¼¼°³ÀÇ °ÇѼ±À» ¼±ÅÃÇÏ¿© À̰͵éÀº µ¿ÀϹ°ÁúÀ¸·ÎºÎÅÍ ³ª¿Â ȸÀýX¼±À¸·Î °¡Á¤ÇÑ´Ù. À§ ±×¸²¿¡¼ ȸÀý¼± ¨é, ¨ê, ¨ñ ÀÌ À̰Ϳ¡ ÇØ´çÇÑ´Ù. ÀÌ ¼¼°³ÀÇ °ÇѼ± (3.343100, 2.08570, 2.55066)ÀÌ »öÀμ¿¡ ÀÖ´ÂÁö ã´Â´Ù. ÀÖÀ» °æ¿ì´Â ÀÌ »öÀμ¿¡ Ç¥½ÃµÇ¾î ÀÖ´Â 8°³ÀÇ °ÇѼ±°úµµ ÀÏÄ¡ÇÏ´ÂÁö Á¡°ËÇÑ´Ù. 8°³ÀÇ °ÇѼ±ÀÇ d°ª°ú I/I1 ÀÌ °¢°¢ ÀÏÄ¡µÇ¸é ÇØ´çÇÏ´Â ICDD Card Data ¿Í ¹ÌÁö¹°ÁúÀÇ È¸ÀýX¼±ÀÇ d, I/I1 µîÀ» »ó¼¼È÷ ºñ±³ÇÏ¿© µ¿Á¤ÇÑ´Ù. ÀÌ ¿¹¿¡¼´Â ¾ÕÀÇ 3°³ÀÇ °ÇѼ±Àº »öÀμ¿¡ ¾øÀ¸¹Ç·Î 3°³ÀÇ °ÇѼ±À» ´Ù½Ã ¼±ÅÃÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é ¾ÈµÈ´Ù. ¿¹¸¦µé¸é, À§ ±×¸²¿¡¼ ¨é, ¨ê, ¨ñ, (18) µî¿¡¼ 3°³ÀÇ °ÇѼ±ÀÇ Á¶ÇÕÀ» °í·ÁÇÑ´Ù. ¨é À» Áß½ÉÀ¸·Î °í·ÁÇϸé, ³²Àº Á¶ÇÕÀº ¨é, ¨ê, (18) °ú ¨é, ¨ñ, (18) ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ¾î´À°Íµµ »öÀμ¿¡´Â ¾ø´Ù. ±×·¯³ª ´ÙÀ½ ¨ê ¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ¼¼°³ÀÇ °ÇѼ±À» Á¶ÇÕÇÏ¿© °í·ÁÇÏ¸é ¨ê, ¨ñ, (18) °ú ¨ê, ¨é, (18) ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ȸÀýX¼± ¨ê, ¨ñ, (18) ÀÌ µ¿ÀϹ°Áú¿¡¼ÀÇ È¸ÀýX¼±À¸·Î °¡Á¤ÇÏ¿© »öÀμ¸¦ º¸¸é ÀÌ ¼¼°³ÀÇ °ÇѼ±ÀÇ Á¶ÇÕÀº »öÀμ¿¡ ÀÖ´Ù. ´ÙÀ½¿¡ 8°³ÀÇ °ÇѼ±ÀÇ d°ª°ú I/I1 µµ °¢°¢ ÀÏÄ¡ÇÏ´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖÀ¸¸ç 10-173 ÀÇ ICDD Card ÀÇ È¸ÀýX¼±°ú Chart ¸¦ ºñ±³Çϸé 10-173 ÀÇ È¸ÀýX¼±Àº ÃøÁ¤¹üÀ§³»¿¡¼ Chart ¿¡ ³ªÅ¸³ª¹Ç·Î ¹ÌÁö¹°Áú Áß¿¡´Â a-Al2O3 °¡ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. Chart ¿¡´Â a-Al2O3 ÀÌ¿ÜÀÇ È¸Àý¼±µµ ¾à°£ ÀÖÀ¸¹Ç·Î ´ÙÀ½Àº ÀÌ·¯ÇÑ È¸ÀýX¼±¿¡¼ 3°³ÀÇ °ÇѼ±À» ¼±ÅÃÇÏ¿© °°Àº ¼ø¼·Î µ¿Á¤ÇÑ´Ù. µ¿Á¤ÀÇ °á°ú¸¦ À§ÀÇ Ç¥¿¡ Ç¥½ÃÇß´Ù. µ¿Á¤ µÇ¾ú´Ù°í ÆÇÁ¤ÇÏ´Â ±âÁØÀº °æ¿ì¿¡ µû¶ó¼ ´Ù¸£Áö¸¸, Åë»ó 8°³ÀÇ °ÇѼ±À» ÀÏÄ¡½Ã۸ç ÇÑ´Ù. ±×·¯³ª Ưº°È÷ ´Ù¸¥ ȸÀý Pattern À» ³ªÅ¸³»´Â ¹°Áú(±Ý¼ÓÀ̳ª ±¤¹° µî ¿©·¯°¡Áö) µµ ÀÖÀ¸¹Ç·Î ÀÌ ±âÁØÀº Àý´ëÀûÀÎ °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù. Ư¡¼±À» ³ªÅ¸³»´Â ¹°Áú¿¡´Â 1~3°³ÀÇ È¸Àý¼±ÀÌ °ËÃâ °¡´ÉÇÏ¸é µ¿Á¤µÇ´Â °æ¿ìµµ ÀÖ´Ù. 2. Computer °Ë»ö.ICDD Card ÀÇ ¸Å¼ö°¡ Áõ°¡ÇÏ¿© Á÷Á¢ Hanawalt ¹ýÀ¸·Î µ¿Á¤ÀÛ¾÷Àº ½Ã°£ÀÌ °É¸®°Ô µÇ¾ú´Ù.±×·¡¼, 1960³â´ë¿¡ À̸£·¯ Computer ¿¡ ÀÇÇÑ °Ë»öÀÌ ÇàÇØÁ³´Ù. ±× ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â ÁÖ·Î Johnson/Vand, SANDMAN ÀÇ Program ÀÌ »ç¿ë µÇ¾ú´Ù. ÇöÀç´Â ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ¹ýÀÌ ±âº»À¸·Î, Á¤¹Ðµµ°¡ ÁÁ°Ô µ¿Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °³·®µÇ¾î ³Î¸® Computer °Ë»öÀÌ ÇàÇØÁö°í ÀÖ´Ù. Johnson/Vand ¿Í SANDMAN ÀÇ Program Àº ȸÀý°¢ÀÇ ÀÏÄ¡ Á¤µµÀÇ ÆÇÁ¤¿¡ ¹®Á¦Á¡ÀÌ ÀÖ°í, Johnson/Vand ÀÇ Program Àº Error window ¶ó ÇÏ´Â Algorithm À» »ç¿ëÇѰͿ¡ ¹ÝÇÏ¿©, SANDMAN ÀÇ Program Àº PBS(Probability Based Scoring) Algorithm À» »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. ¿©±â¼´Â Johnson/Vand ÀÇ Program À» ¿¹¸¦µé¾î ¼³¸íÇÑ´Ù. 1) Àüó¸® (Peak Search)Á¤¼ººÐ¼®À» ÇàÇÒ¶§ ÇÊ¿äÇÑ ¸é°£°Ý(d°ª)°ú »ó´ë°µµ¸¦ »êÃâÇÏ´Â Àüó¸®(Peak Search)¸¦ ÇÑ´Ù.¿©±â¼´Â Åë°èº¯µ¿ÀÇ ¿µÇâÀ» Àû°ÔÇϰí, Peak Çü»óÀ» °í¸£°Ô(ÆòÇÒÈ, Smoothing) Çϰí, Peak À§Ä¡°¡ ¸íÈ®ÇÏ°Ô µÇµµ·Ï ÇÑ´Ù. ´ÙÀ½¿¡ Á¤È®ÇÑ Peak À§Ä¡¸¦ ±¸ÇÑ´Ù. ÀÌ Ã³¸®´Â ó¸®Á¶°ÇÀ» ÀÔ·ÂÇÏ´Â °Í¸¸À¸·Î ÀÚµ¿ÀûÀ¸·Î ÇàÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. 2) °Ë»öÁ¶°Ç (1Â÷ °Ë»ö).¿©±â¼´Â Hard disk ¿¡ ³»ÀåµÈ Ç¥ÁØ Data (ICDD Data) Áß¿¡¼ Á¤ÇØÁø °Ë»öÁ¶°Ç¿¡ µû¶ó¼ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖÀ» °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Â ÈÇÕ¹°À» List up ÇÑ´Ù.°Ë»öÁ¶°ÇÀº ¼ö¸¸°¡ÁöÀÇ ICDD Card Áß¿¡¼ List up Çϱâ À§Çؼ ÇÊ¿äÇÑ Á¶°ÇÀ¸·Î, ¿¹¸¦µé¸é ICDD Card file, Error window, Peak ÀÏÄ¡ °¹¼ö, ÇÔÀ¯¿ø¼ÒÀÇ ÁöÁ¤ µîÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °Ë»öÁ¶°ÇÀ» ÀÔ·ÂÇÏ´Â °Í¸¸À¸·Î ±× Á¶°ÇÀ» ¸¸Á·ÇÏ´Â ÈÇÕ¹°ÀÌ ¼öÃʳ»¿¡ List up µÈ´Ù. °Ë»öÁ¶°ÇÀÇ °áÁ¤, °Ë»ö File °ú Error window ¿¡ ´ëÇÏ¿© ¼³¸íÇÑ´Ù. (1) °Ë»ö File.Çǰ˽÷ᰡ ¹«±âÈÇÕ¹°À̸é Inorganic File, À¯±âÈÇÕ¹°À̸é Organic File À» ¼±ÅÃÇÏ¿© °Ë»öÀ» ÇÑ´Ù.±× ¿Ü¿¡ Sub File ·Î´Â ±¤¹°, ±Ý¼Ó ¹× ÇÕ±Ý, °øÅë»ó, ºÎ¼Ó¹°»ó, ¹ýÀÇÇлó, ±³À° Package, Cement »ó, Æø¹ß¹°»ó, Polymer ¿ø·á, Zeolite pattern, NBS pattern, ÃÊÀüµµ Àç·á, ¾È·á, µµ·á File ÀÌ ÀÖ´Ù. (2) Error window.½Ã·áÀÇ »óÅÂ(Æí½É, °í¿ë µî)¿¡ µû¶ó Ç¥ÁØ Data ¿Í ´Ù¸¥ ¸é°£°ÝÀ» ³ªÅ¸³»´Â °ÍÀÌ ÀÖ´Ù.±×·¡¼ ÃøÁ¤µÈ Peak À§Ä¡¿¡ ÆøÀ» °®°í Ç¥ÁØ Data µî°ú ÀÏÄ¡¸¦ ÆÇÁ¤ÇÑ´Ù. ÀÌ ÆøÀ» Error window ¶ó ÇÑ´Ù. 3) 2Â÷ °Ë»ö.1Â÷ °Ë»öÀ¸·Î List up µÈ ÈÇÕ¹°ÀÇ °¢ Ç¥ÁØ Data ¸¦ ÃøÁ¤ Profile ¿¡ Çϳª¾¿ °ãÃļ CRT ȸé»ó¿¡¼ ºñ±³ÇÑ´Ù.ÃøÁ¤ Profile ÀüüÀÇ È¸Àý Pattern (d°ª°ú »ó´ë°µµ) °ú Ç¥ÁØ Data ¸¦ ÀÏÄ¡½ÃŰ¸ç °ËÅäÇÑ´Ù. °¢°¢ ÁßøµÇ¾î ÀÏÄ¡µÇ´Â »óŰ¡ µÇ¸é µ¿Á¤ µÇ¾ú´Ù°í ¸»ÇÑ´Ù. ½Å·Ú¼º °è¼ö°ªÀ» Âü°íÇÏ¿© ȸÀý Pattern À» ºñ±³Çصµ ÁÁ´Ù. µ¿Á¤µÇÁö ¾ÊÀº ȸÀý¼±ÀÌ ¾øÀ¸¸é µ¿Á¤ÀÛ¾÷Àº Á¾·áÇÑ´Ù. ½Å·Ú¼º °è¼ö´Â d°ª, »ó´ë°µµ, Peak ÀÇ ÀÏÄ¡ °¹¼ö µî¿¡ ÀÇÇØ ±¸ÇÑ °ªÀ¸·Î, °ªÀÌ Å«ÂÊÀÌ ½Å·Ú¼ºÀÌ ³ô´Ù. ÃÖÁ¾ÀûÀÎ ÆÇ´ÜÀº »ç¶÷ÀÌ ÇÑ´Ù. 3. µ¿Á¤ÇÒ¶§ÀÇ ÁÖÀÇÁ¡.µ¿Á¤ÇÒ¶§ ICDD Data ¿Í ½Ã·áÀÇ È¸Àý¼±ÀÇ d°ªÀ̳ª I/I1 ÀÌ ´Ù¼Ò ´Ù¸¦¶§µµ ÀÖ´Ù.À̰ÍÀº ½Ã·áÁ¶Á¤À̳ª ½Ã·áÀÇ ¼ºÁú¿¡ ±âÀÎÇÏ´Â °æ¿ì³ª, ICDD Data ÀÇ ½Å·Ú¼º¿¡ ÀÇÇÑ °æ¿ì°¡ ÀÖ´Ù. 1) ½Ã·áÁ¶Á¤¿¡ ÀÇÇÑ °æ¿ì.
2) ½Ã·áÀÇ ¼ºÁú, »óÅ¿¡ ÀÇÇÑ °æ¿ì.
3) ICDD Data ÀÇ ½Å·Ú¼º¿¡ ÀÇÇÑ °æ¿ì.
4) ±âŸÀÇ °æ¿ì.
4. Ư¡¼±À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ý.Á¡Å䱤¹°À̳ª ¾Ï¼®±¤¹°Áß¿¡¼ Ư¡¼±À» °®´Â °áÁ¤ÀÇ Á¤¼ººÐ¼®À» Çϴ°æ¿ì´Â Çϳª¿ÐÆ®¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ´Â°Í º¸´Ù Ư¡¼±À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ È¿À²ÀûÀÌ´Ù.´ÙÀ½Àº ±× ¿¹ÀÌ´Ù. ½Ã·á·Î SiO2, Target ·Î Cu ¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â °æ¿ì, 2q·Î 20.7o ¿Í 26.5o ¿¡ °ÇÑ È¸Àý¼±ÀÌ ³ªÅ¸³ª¸ç 68o ¿¡ 5Áß¼±ÀÌ ³ªÅ¸³ª¸é, ÀÌ ½Ã·á´Â Ʋ¸²¾øÀÌ a-Quartz À̸ç Çϳª¿ÐÆ®¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ´Â°Í º¸´Ù ÈξÀ ´É·üÀûÀÌ´Ù. ±×·¯³ª a-Quartz ÀÇ 5Áß¼±Àº °µµ°¡ ¾àÇϹǷΠÁÖÀǰ¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. Á¡Å䱤¹°, ¾Ï¼®±¤¹°¹Û¿¡ ¾ø°í, ±Ý¼ÓµîÀÌ ¾øÀ¸¸é ÀÌ ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ´Â ÂÊÀÌ ºü¸£´Ù. ¿¹¸¦µé¸é ±ÔÄ¢¼±ÀÇ À¯¹«, ÈÇÕ¹°¿¡¼´Â °áÁ¤¼öÀÇ À¯¹« µîÀÌÀÖ´Ù. 5. À¯±âÈÇÕ¹°ÀÇ µ¿Á¤.À¯±âÈÇÕ¹°¿¡ ´ëÇØ¼´Â ICDD Card ¿¡ µî·ÏµÇ¾î ÀÖ´Â ¸Å¼ö°¡ ¹«±âÈÇÕ¹°¿¡ ºñÇÏ¿© Àû´Ù.±× ¹Ý¸é, À¯±âÈÇÕ¹°ÀÇ Á¾·ù´Â ¾ÆÁÖ ¸¹À¸¹Ç·Î ¹«±âÈÇÕ¹°, Á¡Å䱤¹°, ¾Ï¼®±¤¹°, ±Ý¼Ó µî°ú °°Àº ¹æ¹ýÀ¸·Î Åë°èÀûÀÎ µ¿Á¤À» Çϱ⠰ï¶õÇÏ´Ù. À¯±âÈÇÕ¹°Àº º»·¡ÀÇ ¼ºÁú¶§¹®¿¡ ȸÀýµµÇüÀÌ º¹ÀâÇÏ°Ô ³ªÅ¸³ª´Â °æ¿ì°¡ ¸¹´Ù. ±×·¡¼ µ¿Á¤ÇÏ·Á´Â À¯±âÈÇÕ¹°ÀÇ µ¿Á·ÈÇÕ¹°, °ü·ÃÈÇÕ¹°¿¡ ´ëÇÏ¿© ±âÁØÀ̵Ǵ µµÇüÀ̳ª ¼öÄ¡°¡ ±¸ÇØÁö¸é ±×°ÍÀ¸·ÎºÎÅÍ ¹«±âÈÇÕ¹°°ú °°ÀÌ Á¤¼ººÐ¼®À» ÇÑ´Ù. |