Home page

X¼± ȸÀý ºÐ¼®±â(X-Ray Diffractometer, XRD)

X¼± ȸÀýÀåÄ¡(X-Ray Diffractometer, XRD)

X¼± ȸÀýÀåÄ¡(X-Ray Diffractometer, XRD)´Â ½Ã·áÀÇ »óÅ¿¡ µû¶ó¼­ ºÐ¸»¹ý¿ë°ú ´Ü°áÁ¤¿ë À¸·Î ºÐ·ùÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀüÀÚÀÇ °æ¿ì´Â Debye-Scherrer Camera, ÈÄÀÚÀÇ °æ¿ì´Â Weissenberg Camera, ´Ü°áÁ¤ ÀÚµ¿ X¼± ȸÀýÀåÄ¡(X-Ray Diffractometer, XRD) µîÀÌÀÖ´Ù.

¶Ç, X¼± ȸÀýÀåÄ¡(X-Ray Diffractometer, XRD)´Â X¼±(X-Rays)ÀÇ °ËÃâ ¹æ¹ý¿¡ µû¶ó¼­, FilmÀ» »ç¿ëÇÏ´Â »çÁø¹ý¿¡ ÀÇÇÑ °Í°ú Counter(°ËÃâ±â)¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â Counter¹ý¿¡ ÀÇÇÑ °ÍÀ¸·Î ºÐ·ùÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀüÀÚ´Â Debye-Scherrer Camera(Powder Camera), Laue Camera, ÈÄÀÚ´Â Diffractometer °¡ ÀÖ´Ù.

Counter¿¡ ÀÇÇØ ÀÚµ¿±â·Ï¹æ½ÄÀ» ÀÌ¿ëÇÑ X¼± ȸÀý°è(X-Ray Diffractometer, XRD)¸¦ µðÇÁ·¢Åä¸ÞŸ(Diffractometer)¶ó°í Çϸç, ÁÖ·Î ºÐ¸»¹ý¿ë À¸·Î ÀÌ¿ëÇÑ´Ù.

1. ±¸¼º

Diffractometer´Â Å©°Ô ³ª´©¾î¼­ X¼±(X-Rays)À» ¹ß»ý ½ÃÅ°´Â X¼± ¹ß»ýÀåÄ¡(X-Ray Generator, XG), °¢µµ 2q¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °í´Ï¿À¸ÞÅÍ(Goniometer), X¼± °­µµ(X-Rays Intensity)¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °è¼ö±â·ÏÀåÄ¡(Electronic Circuit Panel, ECP), ÀÌ·¯ÇÑ °ÍµéÀ» Á¦¾îÇÏ°í ¿¬»êÀ» ÇÏ´Â Á¦¾î¿¬»êÀåÄ¡(Control/Data Processing Unit, Computer) ÀÇ 4 ºÎºÐÀ¸·Î µÇ¾îÀÖ´Ù.

2. X¼± ¹ß»ýÀåÄ¡(X-Ray Generator)

1) X¼±°ü(X-ray Tube)

X¼±°ü(X-ray Tube)Àº ¿­ÀüÀÚ 2±Ø Áø°ø°üÀÇ ÀÏÁ¾ÀÌ´Ù.
°¡¿­µÈ À½±Ø(ÀϹÝÀûÀ¸·Î ÅÖ½ºÅÙ Çʶó¸àÆ®¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù) À¸·ÎºÎÅÍ ³ª¿Â ¿­ÀüÀÚ¸¦ °¡¼Ó½ÃÄÑ Target(´ëÀ½±Ø)¿¡ Ãæµ¹Çϸ鼭 X¼±(X-rays)ÀÌ ¹æ»çµÈ´Ù.

TargetÀ» ÇâÇÑ ÀüÀÚÀÇ È帧Àº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ³Ð°Ô ÆÛÁö¹Ç·Î Wehnelt ¿øÅë(Wehnelt cylinder)¿¡ Àû´çÇÑ ÀüÀåÀ» °É¾î¼­, ÀüÀÚ È帧ÀÇ ¹ß»êÀ» ¸·°í Target À§¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Å©±âÀÇ ÁýÁ¡À» ¸¸µç´Ù.
X¼±(X-rays)Àº Target Ç¥¸éÀ¸·Î ºÎÅÍ ¿©·¯¹æÇâÀ¸·Î ¹æ»çµÈ´Ù.
º¸Åë, Target ±ÙóÀÇ °üº®¿¡ â(Window)ÀÌ ÀÖ¾î, ÀÌ Ã¢À» ÅëÇÏ¿© X¼±(X-rays)ÀÌ °ü ¿ÜºÎ·Î ³ª¿À°Ô µÈ´Ù.

(1) Sealed-off X-ray Tube ¿Í Demountable X-ray Tube

a. Sealed-off X-ray Tube(¹ÐÆóÇü Tube)

X¼±°ü(X-ray Tube)

¹é¿­Àü±¸ ¿Í °°ÀÌ Áø°ø Type À¸·Î »ç¿ë¹ýÀÌ °£ÆíÇÏ´Ù.
¿­ÀüÀÚ¸¦ ¹æÃâÇÏ´Â ÅÖ½ºÅÙ(Tungsten) Çʶó¸àÆ®(Filament)ÀÇ ¼ö¸íÀ» ±æ°ÔÇÏ°í, Target Ç¥¸éÀÇ ¿À¿°À» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÏ¿©, ³»ºÎ´Â 10-7 ~ 10-8 Torr (1.33 X 10-5 ~ 10-6 Pa [Pascal]) ÀÇ °íÁø°ø À¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.

X¼±°üÀÇ ´Ü¸éµµ

ÀϹÝÀûÀ¸·Î X¼± ȸÀý(X-ray Diffraction)¿ë À¸·Î´Â, Normal focus (Target À§ÀÇ ÁýÁ¡ Å©±â°¡ 1 mm X 10 mm), Fine focus (0.4 mm X 8 mm), Long fine focus (0.4 mm X 12 mm), Broad focus (2 mm X 12 mm) ÀÇ 4 Á¾·ù°¡ ÀÖÀ¸¸ç, Normal focus ¸¦ °¡Àå ¸¹ÀÌ »ç¿ëÇÑ´Ù.

±× ¿Ü¿¡ ÀÜ·ùÀÀ·Â ÃøÁ¤ÀåÄ¡¿ë, Cut ¸é ÃøÁ¤ÀåÄ¡¿ë µî ¿©·¯°¡Áö°¡ ÀÖ´Ù.
Çü±¤ X¼± ºÐ¼®ÀåÄ¡(Fluorescence X-ray Analyser)¿¡´Â ¿ë·®ÀÌ Å©°í(ÁýÁ¡ Å©±â°¡ Å©´Ù) Window ±îÁöÀÇ °Å¸®°¡ ªÀº Tube¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.

b. Demountable X-ray Tube(Á¶¸³½Ä(°³¹æ½Ä) Tube)

Rotating Anode

À§ÀÇ ±×¸²Àº ´ë¿ë·® X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ ÇϳªÀΠȸÀü ´ëÀ½±Ø X¼±°ü(Rotating Anode X-ray Tube)À¸·Î °ü ³»ºÎÀÇ °ø±â¸¦ Áø°øÆßÇÁ¿¡ ÀÇÇÏ¿© »©³»¾î »ç¿ëÇÑ´Ù.
ÀÌ¿Í°°Àº X¼±°üÀº ¹ÐÆóÇü X¼±°ü(X-ray Tube)¿¡¼­ ¾òÀ» ¼ö ¾ø´Â ´ë¿ë·® X¼±¿ø(X-ray Source)À» ÇÊ¿ä·ÎÇÏ´Â °æ¿ì³ª, ¹Ì¼ÒÇÑ ÁýÁ¡À» ÇÊ¿ä·ÎÇÏ´Â °æ¿ì¿¡ »ç¿ëÇÑ´Ù.
´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ TargetºÎºÐÀº µå·³(Drum)ÇüÅ·ΠµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç °í¼ÓÀ¸·Î ȸÀü ½ÃŲ´Ù.
ÀüÀÚ BeamÀº Ç×»ó ³Ã°¢µÇ¾î ÀÖ´Â Target¸é¿¡ ºÎµúÈ÷¸ç ¾ÆÁÖ °­ÇÑ X¼±(X-rays)À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖµµ·Ï ¸¸µé¾îÁ® ÀÖ´Ù.
¹ÐÆóÇü X¼±°ü(X-ray Tube)¿¡¼­ Çã¿ëºÎÇÏ°¡(Target ¿ø¼Ò, Focus size µî¿¡ Á¿ìµÊ) 2KW ÀüÈÄÀΰͿ¡ ¹ÝÇØ, ÀÌ ¹æ½ÄÀº 18KW°¡ º¸ÅëÀ̸ç, 90KW°¡ µÇ´Â°Íµµ ½ÃÆǵǰí ÀÖ´Ù.

Rotating Anode ¿ø¸®

¹Ì¼ÒÁýÁ¡(0.1 mm X 1 mm ÀÌÇÏ)Àº ¹ÐÆóÇü X¼±°ü(X-ray Tube)¿¡¼­ ¾òÀ» ¼ö ¾øÀ¸¹Ç·Î Á¶¸³½ÄÀ» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù.
Çʶó¸àÆ®¿¡¼­ ¹ß»ýµÈ ÀüÀÚ¸¦ ÀüÀÚ¼®¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¹Ì¼ÒÁýÁ¡À» TargetÀ§¿¡ ¸¸µå´Â ¹æ½Ä°ú, ¹Ì¼ÒÁýÁ¡ Àü¿ëÀÇ ÀüÀÚÃÑÀ» »ç¿ëÇÏ´Â °Íµµ ÀÖ´Ù.
ÀüÀÚ´Â ¾ÆÁÖ ÀÛÀº ÁýÁ¡À̳ª Åõ°úÇü Target°¡ ¾ò¾îÁö´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ°í, ÈÄÀÚ´Â X¼±(X-rays)ÀÇ ÈÖµµ(Brilliance)°¡ ³ôÀº Ư¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¹Ì¼ÒÁýÁ¡ X¼± ¹ß»ýÀåÄ¡(X-ray Generator)´Â Lang Camera, Micro Laue Camera µîÀÇ Camera Àü¿ëÀ¸·Î »ç¿ëÇϱ⵵ ÇÑ´Ù.

(2) ³Ã°¢

ÀüÀÚ°¡ °¡Áö°í ÀÖ´Â EnergyÀÇ 0.1 % Á¤µµ´Â X¼±À¸·Î º¯È¯ µÇÁö¸¸, ´ëºÎºÐÀº ¿­·Î º¯È¯µÇ¾î ¾ø¾îÁø´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î TargetÇ¥¸éÀ» ¹°·Î ³Ã°¢ ½ÃŲ´Ù.
Ç¥¸é°ú ¹°ÀÇ ¿­±³È¯À²À» ³ôÀ̱â À§ÇÏ¿© ¹°À» Á¦Æ® »óÅ·Π°ø±ÞÇÑ´Ù.
À̹°ÁúÀÌ ³Ã°¢¼ö¿¡ Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´Â °æ¿ì´Â ¸·È÷¹Ç·Î Filter·Î ¿©°úÇÏ¿© »ç¿ëÇÑ´Ù.
¹ÐÆóÇü X¼±°ü(X-ray Tube)¿¡´Â ³»ºÎ¿¡ Filter(ö¸Á)°¡ ÀÖÀ¸¹Ç·Î Á¤±âÀûÀ¸·Î Filter¸¦ û¼ÒÇÏ¿© »ç¿ëÇÑ´Ù.

(3) X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ Ã¢(Window)

X¼±(X-rays)ÀÌ ¿ÜºÎ·Î ³ª¿Àµµ·Ï µÇ¾îÀִ âÀº X¼±À» Àß Åë°ú ½ÃÄÑ¾ß Çϸç, °íÁø°ø¿¡ Àß °ßµ®¾ß ÇÑ´Ù.
ÀÌ Ã¢ÀÇ Àç·á·Î´Â Be ÀÌ ¾ÆÁÖ ÁÁÀº Àç·áÀÌ´Ù.
0.25 mm µÎ²²ÀÇ Be ÀÇ X¼±(X-rays) Åõ°úÀ²Àº CuKa´Â 95 %, CrKa´Â 80 % Á¤µµ ÀÌ´Ù.
Be ÀÌ »êÈ­µÇ¸é, ¸Íµ¶¼ºÀÇ BeO ·Î º¯È­µÇ¸ç, ÀÌ·¯ÇÑ °æ¿ì â¿¡ Á÷Á¢ÀûÀ¸·Î ¼ÕÀ» ´ë¸é ¾ÈµÈ´Ù.

(4) X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ Take-off Angle

X¼±(X-rays)ÀÌ ¿ÜºÎ·Î ³ª¿À´Â °¢µµ(Take-off Angle)´Â 3 ~ 12o °¡ °¡´ÉÇÏÁö¸¸, º¸Åë 6o ¿¡ °íÁ¤ÇÏ¿© »ç¿ëÇÑ´Ù.

Take-off Angle

Take-off AngleÀº Glancing Angle À̶ó°íµµ ÇÑ´Ù.
Target »óÀÇ ½ÇÁ¦ÁýÁ¡(Focus on the target, Real focus)ÀÇ Å©±â¸¦ W, Take-off Angle À» a ¶ó°í Çϸé, ½ÇÈ¿ÁýÁ¡ÀÇ Å©±â´Â W sin a ·Î Ç¥½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
a = 6o ÀÎ °æ¿ì ½ÇÈ¿ÁýÁ¡ÀÇ Å©±â´Â ¾à 1/10 ÀÌ µÈ´Ù.

Line Beam °ú Point Beam

X¼± BeamÀÇ Á¾·ù´Â Line °ú Point µÎ Á¾·ù°¡ ÀÖÀ¸¸ç, X¼±(X-rays) BeamÀÇ ´Ü¸éÇüÅ¿¡ µû¶ó¼­ ±¸º°ÇÑ´Ù.
Line BeamÀº Target»óÀÇ ÁýÁ¡ÀÇ ±æÀ̹æÇâ°ú Á÷°¢¹æÇâÀ¸·Î ³ª¿À´Â BeamÀ̸ç, SlitÀ» »ç¿ëÇÏ¿© Diffractometer ¿¡ ÀÌ¿ëÇÑ´Ù.
ÀÌ¿Í ¹Ý´ë·Î, Point BeamÀº ÁýÁ¡ÀÇ ±æÀ̹æÇâÀ¸·Î ³ª¿À´Â BeamÀ̸ç, Pin hole ¿¡ Collimator¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© X¼± Camera¿¡ ÀÌ¿ëÇÑ´Ù.

¹ÐÆóÇü X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ Normal focus ÀÇ Traget»óÀÇ ÁýÁ¡(½ÇÁ¦ÁýÁ¡ Å©±â) Å©±â´Â 1 mm X 10 mm ÀÌ°í, Take-off Angle 6oÀÇ °æ¿ì, ½ÇÈ¿ÁýÁ¡ÀÇ Å©±â´Â Line Beam ÀÌ 0.1 mm X 10 mm, Point Beam ÀÌ 1 mm X 1 mm °¡ µÈ´Ù.

(5) X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ ¼ö¸í

¼ö¸íÀº TargetÀÇ ¿À¿°, TargetÀÇ ÆļÕ, Áø°øºÒ·®, FilamentÀÇ ´Ü¼± µîÀÇ ¿øÀÎÀ¸·Î Á¿ìµÈ´Ù.
FilamentÀÇ ´Ü¼±À¸·Î ¼ö¸íÀÌ ´ÙÇÏ´Â °æ¿ì´Â µå¹°¸ç, TargetÀÇ ¿À¿°(Contamination)À¸·Î »ç½Ç»ó »ç¿ë ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì°¡ ¸¹´Ù.
¿À¿°Àº Àå½Ã°£ »ç¿ë¿¡ ÀÇÇÑ FilamentÀÇ ÅÖ½ºÅÙ µîÀÌ Target Ç¥¸é¿¡ ºÎÂøµÇ¾î ÀϾ´Ù.
À̶§ ¿À¿°¹°Áú¿¡ ÀÇÇÑ Æ¯¼º X¼±(Fluorescence X-Ray ¿¹¸¦µé¸é WLa)ÀÌ TargetÀÇ Æ¯¼º X¼±(Characteristic X-rays)°ú °°ÀÌ ³ªÅ¸³­´Ù.
TargetÀÇ Æ¯¼ºX¼±¿¡ ´ëÇÑ ¿À¿°¹°Áú¿¡ ÀÇÇÑ Æ¯¼º X¼±(Characteristic X-rays)ÀÇ °­µµ°¡ 1 % Á¤µµ°¡ µÉ¶§¸¦ ¼ö¸íÀÌ ´ÙÇß´Ù°í º»´Ù.

2) °íÀü¾Ð ¹ß»ýÀåÄ¡(High Voltage Generator)

°íÀü¾Ð ¹ß»ýÀåÄ¡·Î ºÎÅÍ High Voltage Cable À» ÅëÇÏ¿© X¼±°ü(X-ray Tube)¿¡ À½ÀÇ °íÀü¾ÐÀÌ °ø±ÞµÈ´Ù.
¹ÐÆóÇü X¼±°ü(X-ray Tube)¿¡´Â 20 ~ 60 KV ÀÇ Àü¾Ð°ú ÃÖ´ë 50 mA ÀÇ Àü·ù, Rotating Anode ¿¡´Â 20 ~ 60 KV ÀÇ Àü¾Ð°ú ÃÖ´ë 300 mA ÀÇ Àü·ù¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ º¸ÅëÀÌ´Ù.

°íÀü¾Ð ¹ß»ýÀåÄ¡´Â °íÀü¾Ð(½Â¾Ð) Trans, Á¤·ùȸ·Î, ÆòȰȸ·Î, Àü¾Ð¾ÈÁ¤È¸·Î, Àü·ù¾ÈÁ¤È¸·Î µîÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ´Ù.
¼Ò¿ë·®ÀÇ °ÍÀº ´Ü»ó ¾çÆÄÁ¤·ù ÆòÈ°È­(Constant potential) ¹æ½ÄÀ», ´ë¿ë·®ÀÇ °ÍÀº 3»ó ÀüÆÄÁ¤·ù ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.

Camera¹ýÀÇ °æ¿ì´Â ÃøÁ¤°¢µµ¹üÀ§ Àüü¸¦ µ¿½Ã¿¡ ÃøÁ¤ ÇϹǷÎ, ÃøÁ¤Áß¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â X¼±°­µµ(X-rays Intensity)°¡ ¾à°£ ºÒ¾ÈÁ¤Çصµ º° ¹®Á¦°¡ ¾øÀ¸³ª, ÀϹÝÀûÀÎ Diffractometer´Â ÃøÁ¤°¢µµ ¹üÀ§¸¦ Counter·Î ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î ÁÖ»ç(Scan)ÇϹǷΠ¹ß»ýµÈ X¼±°­µµ(X-rays Intensity)°¡ ÃæºÐÈ÷ ¾ÈÁ¤µÇÁö ¾ÊÀ¸¸é ¾ÈµÈ´Ù.
±×·¯¹Ç·Î, Diffractometer´Â Àü¾Ð, Àü·ù¸¦ ¸ðµÎ ¾ÈÁ¤ ½ÃÅ°±â À§ÇÏ¿© Á¦¾îȸ·Î°¡ ÀåÄ¡¿¡ ³»ÀåµÇ¾î ÀÖ´Ù.

Àü¾Ð, Àü·ùÀÇ ¾ÈÁ¤µµ´Â ¹ß»ýÀåÄ¡ÀÇ Á¾·ù¿¡ µû¶ó + 0.1 % ¿¡¼­ + 0.01% ÀÇ °ÍÀÌ º¸ÅëÀÌ´Ù.
Åë»ó X¼±È¸Àý(X-ray Diffraction)ÀÇ ÃøÁ¤¿¡´Â + 0.1 % ÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸é ÃæºÐÇÏ´Ù.
ÃøÁ¤Á¶°ÇÀ» °í·ÁÇÏ¿© º¸¸é, X¼±¿ø À¸·ÎºÎÅÍ ½Ã·á¸¦ °ÅÃÄ Counter ±îÁöÀÇ Åë°ú°Å¸®´Â 30 ~ 40 cm Á¤µµ°¡ µÇ´Â°ÍÀÌ º¸ÅëÀÌ´Ù.
40 cm ¶ó°í Çϸé, ±â¿Â 1oC ÀÇ º¯È­¿¡ X¼±°­µµ(X-rays Intensity)´Â CuKaÀÇ °æ¿ì 0.16 %, CrKaÀÇ °æ¿ì 1.55 % ÀÇ º¯È­°¡ ³ªÅ¸³­´Ù.
µû¶ó¼­, + 0.1 % ÀÇ ¾ÈÁ¤µµ ÀÌ»óÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â °æ¿ì´Â, ÃøÁ¤Çϱâ À§ÇÑ È¯°æÁ¶°ÇÀ» µ¿ÀÏÇÏ°Ô ÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é ¾ÈµÈ´Ù.

3) °¢Á¾ º¸¾Èȸ·Î

X¼± ¹ß»ýÀåÄ¡(X-ray Generator)ÀÇ º¸È£ ¹× ÀÎüÀÇ ¾ÈÀüÀ» À§ÇÏ¿© °¢Á¾ º¸¾ÈÀåÄ¡°¡ ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù.

(1) ´Ü¼ö (Water cut-out limiter)

³Ã°¢¼öÀÇ ´Ü¼ö³ª À̹°Áú¿¡ ÀÇÇØ ³Ã°¢¼ö Åë·Î°¡ ¸·ÇûÀ» °æ¿ì, TargetÀÇ °ú¿­À» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© ÀåÄ¡ÀÇ Àü¿øÀ» Â÷´ÜÇÏ´Â µ¿ÀÛÀ» ÇÑ´Ù.
¹°ÀǾçÀÌ ÀûÀ» °æ¿ì Á¾·¡¿¡´Â ¼ö¾ÐÀ¸·Î °£Á¢ÀûÀ¸·Î °ËÃâÇÏ¿´À¸³ª, ÃÖ±Ù¿¡´Â ¼ö·®À» Á÷Á¢ÀûÀ¸·Î °ËÃâÇÑ´Ù.
¶ÇÇÑ, ¼ö¾ÐÀÌ ³Ê¹« ³ôÀº °æ¿ì¿¡µµ µ¿ÀÛÇϵµ·Ï µÇ¾î ÀÖ´Ù.

(2) °úºÎÇÏ (Over Load Limiter, OLL)

°¢ TargetÀÇ Çã¿ëºÎÇÏ ÀÌ»óÀÇ ºÎÇÏ°¡ ¹ß»ýÇϸé ÀåÄ¡ÀÇ Àü¿øÀ» Â÷´ÜÇÏ´Â µ¿ÀÛÀ» ÇÑ´Ù.

(3) °íÀü¾Ð (High Voltage Limiter, HVL)

°íÀü¾Ð Ãâ·ÂÀÌ »ç¿ëÇÏ´Â X¼±°üÀÇ ÃÖ°íÀü¾ÐÀ» ÃÊ°úÇÏ´Â °æ¿ì ÀåÄ¡ÀÇ Àü¿øÀ» Â÷´ÜÇÏ´Â µ¿ÀÛÀ» ÇÑ´Ù.

(4) ÀúÀü¾Ð (Low Voltage Limiter, LVL)

X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ Filament º¸È£¿ë À¸·Î, Filament °¡¿­¿ë Ãâ·ÂÀÌ Filament Á¤°ÝÀ» ÃÊ°úÇÏ´Â °æ¿ì ÀåÄ¡ÀÇ Àü¿øÀ» Â÷´ÜÇÏ´Â µ¿ÀÛÀ» ÇÑ´Ù.

(5) °æ°íµî (Warning Light)

X¼±(X-rays)À» ¹ß»ý ½ÃÅ°°í ÀÖÀ»¶§, À̸¦ Ç¥½ÃÇÏ°í °æ°íÇϱâ À§ÇÏ¿© ÄÑÁø´Ù.

(6) Shutter

¾ÈÀüÀ» À§ÇÏ¿© X¼± Shutter´Â 2ÁßÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
ÀüÀÚ±â(Electro-Magnetic) Shutter ¸¦ ¿­¾ú¾îµµ, ¼öµ¿ Shutter°¡ ´ÝÇô ÀÖÀ¸¸é, ÀüÀÚ±â(Electro-Magnetic) Shutter ´Â ¿­¸®Áö ¾Ê´Â´Ù.
ÀüÀÚ±â(Electro-Magnetic) Shutter °¡ ¿­·Áµµ Ç¥½ÃµîÀÌ ÄÑÁö°Ô µÇ¾î ÀÖ´Ù.

(7) X¼±(X-rays) ´©Ãâ¹æÁö (Radiation Enclosure)

ÀÎüÀÇ ¾ÈÀüÀ» À§ÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î, X¼±(X-rays)ÀÌ ¹ß»ýµÇ°í ÀÖÀ»¶§ Cover ¸¦ ¿­¸é X¼±(X-rays)ÀÌ ²¨Áöµµ·Ï µÇ¾îÀÖ´Ù.

3. °í´Ï¿À¸ÞŸ(Goniometer)

1) ÁýÁß¹ýÀÇ ±âº»¿ø¸®

´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ Diffractometer ÀÇ ±¤ÇаèÀÇ ¿ø¸®µµ¸¦ Ç¥½Ã ÇÏ¿´´Ù.
½Ã·á°¡ À۰ųª X¼±ÀÌ Åõ°úÇÏ´Â ½Ã·áÀÇ °æ¿ì´À Collimator¸¦ »ç¿ëÇÑ ÆòÇà Beam ¹ýÀÌ ÀÌ¿ëµÇ³ª, ÀϹÝÀûÀ¸·Î´Â ÁýÁß¹ýÀÌ ÀÌ¿ëµÈ´Ù.
ÁýÁß¹ýÀº ÆòÇà Beam ¹ý¿¡ ºñÇÏ¿© ºÐÇØ´ÉÀÌ ÁÁ°í ȸÀý X¼±ÀÇ °­µµ°¡ °­ÇÏ´Ù.

ÆòÇà Beam ¹ý (Parallel Beam Method)

ÁýÁß¹ý(Focusing Method)ÀÇ ¿ø¸®

À§ ±×¸²°ú °°ÀÌ ÁýÁ¡¿ø(Focusing circle, ÁýÁß¿ø, Rowland circle)À» °¡»óÇÏ°í, ÀÌ ÁýÁ¡¿ø¿¡ Á¢ÇÏ´Â °î¸éÀ§ÀÇ ½Ã·á¿¡ ÀÇÇÑ È¸Àý(Diffraction)À» º¸ÀÚ.
ÁýÁ¡¿øÀ§¿¡ ÀÖ´Â X¼±¿ø(X-ray Source) À¸·ÎºÎÅÍ ¹ß»êµÈ X¼±À» ½Ã·á¿¡ ÀÔ»ç½ÃÄÑ, ½Ã·á·Î ºÎÅÍÀÇ È¸Àý X¼±(Diffracted X-ray)Àº ÁýÁ¡¿ø À§¿¡ÀÖ´Â Receiving slit ¿¡ ÁýÁߵȴÙ.

2) °í´Ï¿À¸ÞŸ(Goniometer)

GoniometerÀÇ ±¤Çаè´Â ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°´Ù.

GoniometerÀÇ ±âº»±¸Á¶

(1) Diffractometer ´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î X¼±¿ø(X-ray Source) S ·Î ºÎÅÍ Line focus ¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
Target »óÀÇ 1 mm X 10 mm ÀÇ Normal focus X¼±°ü(X-ray Tube)À» »ç¿ëÇÏ¿© Take-off Angle À» 6o ¶ó Çϸé, ½ÇÈ¿ÆøÀº 0.1 mm °¡ µÇ¸ç, 0.1 mm X 10 mm ÀÇ ³ÐÀº ¶ì ¸ð¾çÀÇ X¼±¿ø(X-ray Source)ÀÌ µÈ´Ù.

Point focus ¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀº Micro-Diffractometer, Fiber Specimen µî ¿©·¯°¡Áö°¡ ÀÖ´Ù.

(2) S ·Î ºÎÅÍ ¹ß»êµÈ X¼±(X-rays)Àº ù¹ø° Slit ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¹ß»ê°¢ÀÌ Á¦ÇÑµÇ¾î ½Ã·á¿¡ Á¶»çµÈ´Ù.
ÀÌ Slit À» Divergence Slit (DS) À̶ó°í Çϸç, 1/6, 1/2, 1, 2, 4o ÀÇ ¹ß»ê°¢À» °¡Áö°íÀÖ´Â °ÍÀ» »ç¿ëÇϸç, Setting ¿ëÀ¸·Î 0.05 mm ÆøÀ» °¡Áø°Íµµ ÀÖ´Ù.

(3) ½Ã·á¿¡¼­ ȸÀýµÈ X¼±(Diffracted X-ray)Àº F ¿¡ ÁýÁߵǸç, ÀÌ À§Ä¡¿¡ µÎ¹ø° Slit ÀÎ Receiving Slit (RS) ÀÌ ÀÖ´Ù.
0.15, 0.3, 0.6 mm ÀÇ ÆøÀ» °¡Áø °ÍÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.

(4) ¼¼¹ø° SlitÀº °ø±âµî¿¡ ÀÇÇØ »ê¶õµÇ¾î ½Ã·áÀÌ¿ÜÀÇ À§Ä¡¿¡¼­ µé¾î¿À´Â »ê¶õ X¼±ÀÌ, °ËÃâ±â¿¡ µé¾î°¡Áö ¾Êµµ·Ï ÇϱâÀ§Çؼ­ »ç¿ëÇÏ´Â Scattering Slit (SS) ÀÌ´Ù.
SS ´Â DS ¿Í °°Àº ¹ß»ê°¢À» °¡Áø°ÍÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.

(5) S1, S2 ´Â Soller Slit À̶ó°í Çϸç, ¾ãÀº ±Ý¼ÓÆÇÀ» ÀÏÁ¤ÇÑ °£°ÝÀ¸·Î ¿©·¯°ã °ãÃijõÀº °ÍÀ¸·Î, ÀÔ»çX¼±(Incident X-ray) ¹× ȸÀý¼±(Diffracted X-ray)ÀÌ ¼öÁ÷¹æÇâÀ¸·Î ¹ß»êÇÏ´Â °ÍÀ» Á¦ÇÑÇÑ´Ù.

Debye ring °ú ¼öÁ÷¹ß»ê

À§ ±×¸²°ú °°ÀÌ ¼¼·Î·Î ±ä Line focus ·ÎºÎÅÍ ¹ß»ýµÈ X¼±(X-rays)Àº ÀÔ»çÃøÀÇ Solar Slit S1 ¿¡ ÀÇÇØ, ÀÔ»çX¼±ÀÇ ¼öÁ÷¹ß»êµÇ¾î »ý±â´Â ¿©·¯°³ÀÇ Debye ring µéÀÇ ¼¼·Î¹æÇâÀÇ ÁßøÀ» Àû°Ô ¸¸µé¾î ÁØ´Ù.
Solar Slit S2 ´Â Debye ring µéÀÇ Á߽ɺκп¡¼­ ³ª¿À´Â °Í¸¸ Åë°ú ½ÃŲ´Ù.

X¼±(X-rays)ÀÇ ¹ß»ê ¶§¹®¿¡ ¿©·¯°³ÀÇ Debye ringÀÌ Çü¼ºµÇ´Â Umbrella effect °¡ »ý±ä´Ù
2q = 90o ¿¡¼­´Â Debye ring ÀÌ ¼öÁ÷À¸·Î ³ªÅ¸³ª¹Ç·Î Umbrella effect ¿¡ ÀÇÇÑ È¸Àý¼±ÀÇ Shift °¡ »ý±âÁö ¾ÊÀ¸³ª, 2q °¡ Àú°¢(¶Ç´Â °í°¢)ÀÌ µÇ¸é ȸÀý¼±ÀÌ Àú°¢(¶Ç´Â °í°¢)À¸·Î Shift ÇÏ°Ô µÈ´Ù.

2q ¿¡ µû¶ó Debye ring ÀÇ ´Ù¸¥Á¡

(6) Bragg Brentano

Ç¥ÁØ ÁýÁß¹ýÀº ´ÙÀ½ µÎ°¡ÁöÀÇ Á¶°ÇÀ» ¸¸Á·ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.

a. X¼±¿ø(X-ray Source)¿¡¼­ Goniometer Áß½É(½Ã·áÇ¥¸é À§Ä¡) ±îÁöÀÇ °Å¸®¿Í Goniomter Á߽ɿ¡¼­ Receiving Slit ±îÁöÀÇ °Å¸®°¡ °°¾Æ¾ß ÇÑ´Ù.
ÀÌ ±æÀ̸¦ GoniometerÀÇ ¹Ý°æÀ̶ó Çϸç, ¿¹¸¦µé¾î 185 mm ÀÌ´Ù.

b. ½Ã·á´Â °í¿î ºÐ¸»·Î ¸¸µé¾î Sample holder ¿¡ ³Ö°í, Ç¥¸éÀÌ ÁýÁ¡¿ø¿¡ Á¢Çϵµ·Ï ³õ´Â´Ù.
ÁýÁ¡¿ø(Focusing circle)Àº X¼±¿ø, Goniometer ÀÇ È¸Àü Áß½É, Receiving Slit ÀÇ 3Á¡À» ¿¬°áÇÏ´Â °¡»óÀûÀÎ ¿øÀ¸·Î, ¹Ý°æÀº ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ È¸Àü°¢ 2q ¿¡ µû¶ó¼­ º¯ÇÑ´Ù.

Diffractometer ¿ø°ú ÁýÁß¿ø

ÁýÁß¹ý ±¤Çаè

½Ã·á¸éÀÌ Ç×»ó ÁýÁ¡¿ø¿¡ Á¢ÇÏ°Ô ³õ¾ÆµÎ°í, Direct Beam ÀÇ Á߽ɰú ½Ã·á¸é°úÀÇ °¢µµ (q), Direct Beam ÀÇ Á߽ɰú ȸÀýX¼±(Diffracted X-ray)°úÀÇ °¢µµ (2q) ÀÇ ºñÀ²ÀÌ Ç×»ó 1:2 ¸¦ À¯ÁöÇϵµ·Ï ÇÑ´Ù.
ÀÌ°ÍÀ» ¸¸Á·Çϵµ·Ï Çϱâ À§ÇÏ¿©, ½Ã·á¿Í Receiving Slit ÀÌ È¸ÀüÃà¿¡ ´ëÇÏ¿© 1:2 ÀÇ ¼Óµµºñ·Î ȸÀü(¹è°¢È¸Àü) µÇµµ·Ï µÇ¾î ÀÖ´Ù.

½Ã·áÇ¥¸é°ú ÀÔ»çX¼±(Incident X-ray)ÀÌ ÀÌ·ç´Â °¢ q ¿Í ½Ã·áÇ¥¸é°ú ȸÀýX¼±(Diffracted X-ray)ÀÌ ÀÌ·ç´Â °¢ q °¡ Ç×»ó °°°Ô µÇ°Ô ¹è°¢È¸ÀüÀ» ÇÏ´Â °æ¿ì, ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ ½Ã·áÇ¥¸é¿¡ ÆòÇàÇÑ °ÝÀÚ¸éÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Â °áÁ¤ÀÌ Bragg ½Ä À» ¸¸Á·ÇßÀ» ¶§ ȸÀý(Diffraction)ÀÌ ÀϾ´Ù.

ȸÀý(Diffraction)Á¶°ÇÀ» ¸¸Á·ÇÏ´Â °áÁ¤ÀÔÀÚ

°áÁ¤ÀÇ ¹æÇâÀÌ Random ÇÏ°Ô µÇ¾îÀÖÁö ¾Ê°í, ƯÁ¤ÇÑ hkl ¸éÀÌ ½Ã·áÇ¥¸é¿¡ ÆòÇàÇÏ°Ô µÇ¾î ÀÖ´Â °æ¿ì(¼±ÅùèÇâÀÌ µÇ¾î ÀÖ´Â °æ¿ì)´Â, ÀÌ hkl ¸é¿¡ ÀÇÇÑ È¸Àý°­µµ(Diffraction Intensity)´Â Random ÇÑ °æ¿ìº¸´Ù °­ÇϰԵȴÙ.

4. °è¼ö ±â·Ï ÀåÄ¡

1) ±¸¼º

ȸÀýX¼±(Diffracted X-Ray)Àº Slit System À» Åë°úÇÏ¿© X¼±(X-Rays) °ËÃâºÎ¿¡ µé¾î°¡¸ç, ÀÌ°÷¿¡¼­ Àü±âÀûÀÎ ½ÅÈ£·Î º¯È¯µÈ´Ù.

X¼±(X-Rays)±¤·®ÀÚ´Â °ËÃâ±â(Detector)¿¡ ÀÇÇØ Àü±âÀûÀÎ Pulse ·Î º¯È¯µÇ¸ç, ÀÌ Pulse ´Â Pre-Amplifier ¿¡ ÀÇÇÏ¿© Impedance(Àü¾ÐÀÇ Àü·ù¿¡ ´ëÇÑ ºñÀ²) °¡ º¯È¯µÇ°í, Main-Amplifier ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÁõÆøµÈ´Ù.
ÁõÆøµÈ Pulse ´Â ÆÄ°íºÐ¼®±â(Pulse Height Analyser, PHA) ¿¡ µé¾î°¡, ÇÊ¿ä¾ø´Â ÆÄ°í(Pulse Height)¸¦ Àü±âÀûÀ¸·Î Á¦°ÅÇÏ¿© Scaler ·Î µé¾î°£´Ù.

Scaler´Â X¼±(X-Rays)ÀÇ ¼¼±â¸¦ ¼³Á¤ÇÑ °è¼ö½Ã°£(Fixed Time ¶Ç´Â Preset Time)³»¿¡ µµ´ÞÇÑ Pulse °¹¼ö¸¦ ¼¼±â À§Çؼ­ »ç¿ëÇÑ´Ù.
Scaler µ¿ÀÛÀÇ ¼³Á¤½Ã°£(Preset Time)Àº Timer¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤Çϸç, Scaler ·Î ÀÐÀº °è¼ö°ªÀº Digital ¾çÀ¸·Î Ãâ·ÂÇÑ´Ù.

2) °ËÃâ±â (Detector)

Diffractometer ÀÇ °ËÃâ±â·Î´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ºñ·Ê°è¼ö°ü(Proportional Counter, PC) À̳ª ½ÅÆ¿·¡ÀÌ¼Ç °è¼ö°ü(Scintillation Counter, SC) ÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù.
ÀÌÀü¿¡´Â °¡ÀÌ°Å °è¼ö°ü(Geiger-Muller Counter, GMC)ÀÌ ¸¹ÀÌ »ç¿ë µÇ¾úÀ¸³ª, °è¼öÁ÷¼±¿µ¿ª(Linear Region of Counting Rate)ÀÌ Á¼°í ¼ö¸íÀÌ Âª¾Æ ÇöÀç´Â »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

(1) ºñ·Ê°è¼ö°ü(Proportional Counter, PC)

1°³ÀÇ X¼±(X-Rays) Photon ÀÌ °ü¼Ó¿¡ ¸î°³ÀÇ ÀÌ¿ÂÀ» ¸¸µé°í, À½ÀÇ ÀüÇÏ(ÀüÀÚ) ´Â ¾ç±Ø½É¼± À¸·Î, ¾çÀÇ ÀüÇÏ´Â À½±ØÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀδÙ.
µÎ±Ø »çÀÌÀÇ Àü¾ÐÀÌ ³·Àº °æ¿ì¿¡´Â Àü±Ø±îÁö ¿òÁ÷ÀÌ´Â µµÁß¿¡ ÀÌ¿ÂÀº Àç°áÇÕ ÇÏ¿©, ÀÌ¿Â ´ëºÎºÐÀÌ Àü±Ø±îÁö µµ´ÞÇÏÁö ¸øÇÑ´Ù(Àç°áÇÕ ¿µ¿ª).

Àü¾ÐÀ» ³ôÈ÷¸é Àü¸®ÇÔ ¿µ¿ªÀ¸·Î µé¾î°£´Ù.
ÀÌ ¿µ¿ª ¿¡¼­´Â ÀÌ¿ÂÈ­¿¡ ÀÇÇؼ­ ¸¸µé¾îÁø À̿µéÀÇ Àç°áÇÕ ±âȸ´Â ¹«½ÃÇÒ Á¤µµ·Î Àû¾î, ¸ðµÎ Àü±Ø¿¡ ¸ðÀδÙ.
ÀÌ ¿µ¿ª ¿¡¼­´Â ¸ðÀÌ´Â ÀüÇÏ´Â Àü±ØÀü¾Ð°ú °ü°è¾øÀÌ Æ÷È­¿µ¿ªÀÌ µÇ¸ç, Àü¸®ÇÔÀº ÀÌ ¿µ¿ª¿¡¼­ »ç¿ëÇÑ´Ù.

´ÙÀ½¿¡ Àü¾ÐÀ» ´õ ³ôÀ̸é, Àü¸®Àü·ù´Â ´Ù½Ã Áõ°¡µÈ´Ù.
¹ß»ýµÈ À̿µéÀÇ ÀüÀÚ´Â ¾ç±Ø¿¡ µµ´ÞÇϱ⠱îÁö ÃæºÐÈ÷ °¡¼ÓµÇ¾î °¡½º ¿øÀÚ¿¡ Ãæµ¹ÇÏ¿© ´Ù½Ã ÀÌ¿ÂÈ­¸¦ ÀÏÀ¸Å²´Ù.
´Ù½Ã ÀÌ 2Â÷ Àü¸®ÀÛ¿ëÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø ÀüÀÚ°¡ ¶Ç´Ù¸¥ Àü¸®ÀÛ¿ëÀ» ÇÏ¿© ¸¹Àº ¼öÀÇ ÀüÀÚ°¡ »ý°Ü, ÃÖÈÄ¿¡ Àü±Ø¿¡ µµ´ÞÇÒ ¶§±îÁö(0.2 ~ 0.5 msec ÀÇ ÂªÀº ½Ã°£µ¿¾È) ÀüÀÚÁõ¹è°¡ ÀϾ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÀüÀÚÀÇ Áõ¹è Çö»óÀ» Electron Avalanche ¶ó°í ÇÑ´Ù.

2Â÷ ÀüÀÚÀÇ ¹ß»ýÀº ±¤ÀÚ¸¦ ¹æÃâ(Àڿܼ±ÀÇ ¹ß»ý) ½ÃŲ´Ù.
ÀÌ ±¤ÀÚ¿¡ ÀÇÇÑ ±¤ÀüÈ¿°ú·Î ÀüÀÚ¼ö´Â Áõ°¡µÈ´Ù.
ÀÌ Çö»óÀ» °¡½ºÁõÆø(Gas Amplification) À̶ó°í ÇÑ´Ù.
1°³ÀÇ 1Â÷ÀüÀÚ°¡ ¾ç±Ø¿¡ µµ´ÞÇϱ⠱îÁö Ãæµ¹¿¡ ÀÇÇØ »ý±ä ÀüÀÚ¼öÀÇ Æò±ÕÀ» n, ±¤ÀüÈ¿°ú¿¡ ÀÇÇØ ±¤ÀüÀÚ°¡ ¸¸µé¾îÁú È®À²À» g ¶ó Çϸé, 1°³ ÀüÀÚÁõ¹è·Î »ý±â´Â Àڿܼ± À¸·Î ¹ß»ýµÇ´Â ±¤ÀüÀÚÀÇ ¼ö´Â gn ÀÌ µÇ¹Ç·Î, ÃÖÃÊ 1°³ÀÇ ÀüÀÚ°¡ ¿©·¯¹øÀÇ ÀüÀÚÁõ¹è·Î ¸¸µé¾îÁö´Â ±âüÁõÆøµµ M Àº

M = n + gn2 + g2n3 + .... = n
--------
1 - gn

ÀÌ µÇ¸ç, gn < 1 À̸é M Àº À¯ÇÑ°ªÀ» °¡Áö¹Ç·Î, Àü¸®Àü·ù´Â óÀ½ÀÇ ÀÔ»çÀÔÀÚ¿¡ ÀÇÇØ ¸¸µé¾îÁø À̿µéÀÇ ¼ö¿¡ ºñ·ÊÇÏ°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¹üÀ§¿¡¼­ »ç¿ëÇÏ´Â °è¼ö°üÀ» ºñ·Ê°è¼ö°ü À̶ó°í ÇÑ´Ù.
½ÇÁ¦·Î »ç¿ëÇÏ´Â ºñ·Ê°è¼ö°ü ¿¡¼­´Â gn < < 1 ÀÎ Àü¾Ð¹üÀ§·Î, M = ~ n ÀÌ µÈ´Ù.

´ÙÀ½¿¡ ¾ç±ØÀü¾ÐÀ» ´õ ³ôÀ̸é, gn Àº ´Ù½Ã Áõ°¡µÇ¾î 1 ¿¡ °¡±î¿öÁø´Ù.
À̶§ ¾ç±Ø¿¡ µµ´ÞÇÏ´Â ÀüÀÚ´Â ¸·´ëÇÑ ¼ö°¡ µÇ¸ç(ÀÔ»çX¼±ÀÇ Energy¿Í °ü°è¾øÀÌ), ÀÏÁ¤ÇÑ °ªÀÌ µÈ´Ù.
ÀÌ°ÍÀÌ °¡ÀÌ°Å ¿µ¿ªÀ¸·Î, °¡ÀÌ°Å °è¼ö°ü¿¡´Â ÀÌ¿µ¿ªÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.
°¡ÀÌ°Å °è¼ö°ü ¿¡¼­ Ãâ·ÂµÇ´Â Pulse ÀÇ ÆÄ°í´Â Å©Áö¸¸, ÀÔ»ç ÀÔÀÚÀÇ Energy ¿¡´Â ¹«°üÇϹǷÎ, ÀÔÀÚ°¡ °¡Áö°í ÀÖ´Â Energy (¼±ÀÇ Á¾·ù) ¸¦ ¾Ë¼ö ¾ø´Ù.

´ÙÀ½ ±×¸²Àº ºñ·Ê°è¼ö°ü(PC) ¿¡ ÀÏÁ¤°­µµÀÇ ´Ü»öX¼±ÀÌ ÀÔ»çµÉ¶§ °è¼ö°ü¿¡ °¡ÇØÁø Àü¾ÐÀ» º¯È­ ½ÃÅ°¸é¼­ °è¼öÀ²ÀÇ º¯È­ Ư¼ºÀ» ³ªÅ¸³Â´Ù.

(a) Á¤»óÀûÀÎ °è¼ö°ü
(b) Ư¼ºÀÌ ³ªºüÁø °è¼ö°ü

ºñ·Ê°è¼ö°üÀÇ °è¼öÀ² º¯È­

°è¼öÀ²ÀÇ Áõ°¡°¡ °ÅÀÇ ¾ø´Â ¿µ¿ªÀ» Plateau ¶ó ÇÑ´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î Plateau °¡ ³¡³ª´Â°÷ ºÎÅÍ °è¼öÀ²Àº Áõ°¡Çϸç, ÀÌ°ÍÀº ÁõÆøÀÌ ³Ê¹« Ä¿¼­ ÀâÀ½ÀÌ ¼±º°±â(Discriminator) Level À» ³Ñ¾î °¡¼­ »ý±ä´Ù.
PC ÀÇ Àü¾ÐÀº Plateau ÀÇ Á߽ɺκР¶Ç´Â, ³·Àº°÷ À¸·ÎºÎÅÍ 1/3 Á¤µµÀÇ Àü¾ÐÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù.
Á¤±âÀûÀ¸·Î Ư¼ºÀ» Á¡°ËÇÏ¿© ÃÖÀûÀü¾ÐÀ» »ç¿ëÇϸç, ÇÊ¿ä ÀÌ»óÀ¸·Î °­ÇÑ X¼±À» ÀÔ»ç ½ÃÅ°Áö ¾Ê°í, °­ÇÑ ±â°èÀûÀÎ Ãæ°ÝÀ» ÁÖÁö ¾Ê°í, ½É¼±ºÎ±Ù¿¡´Â °è¼öµÇÁö ¾Ê´Â Dead zone ÀÌ ÀÖÀ¸¹Ç·Î Counter ÀÇ ¹æÇâ¿¡ ÁÖÀÇÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù.

(2) ½ÅÆ¿·¡ÀÌ¼Ç °è¼ö°ü(Scintillation Counter, SC)

ºñ·Ê°è¼ö°üÀº GasÀÇ ÀÌ¿ÂÈ­¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °è¼ö°ü ÀÌÁö¸¸, ½ÅÆ¿·¡ÀÌ¼Ç °è¼ö°ü(Scintillation Counter, SC)Àº °íüÀÇ ¹ß±¤ÀÛ¿ë(Çü±¤)À» ÀÌ¿ëÇÑ °è¼ö°ü ÀÌ´Ù.
½ÅÆ¿·¡ÀÌ¼Ç °è¼ö°üÀÇ ±¸Á¶´Â ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°´Ù.

A: Be 1: À½±Ø(Photo Cathode)
B: ¹ß±¤Ã¼(Scintillator, NaI) 2 ~ 14: Dynode
C: ºûÀÌ Åë°úÇÏÁö ¾Ê´Â Àç·á 15: ¾ç±Ø
D: ±¤ÀüÀÚ Áõ¹è°ü(Photo Multiplier)

½ÅÆ¿·¡ÀÌ¼Ç °è¼ö°ü (SC) ÀÇ ±¸Á¶

¹ß±¤Ã¼ (Scintillator) ¿¡´Â ¹Ì·®ÀÇ Tl À¸·Î È°¼ºÈ­µÈ NaI ´Ü°áÁ¤ÀÌ ÀϹÝÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
Scintillator ´Â X¼±¿¡ ÀÇÇØ ¿©±âµÇ¾î ûº¸¶ó»öÀÇ ºûÀ» ³»¸ç, ÀÌ ¹Ì¾àÇÑ ºûÀ» ±¤ÀüÀÚÁõ¹è°ü (Photo Multiplier, Photo Tube) À» »ç¿ëÇÏ¿© ÁõÆøÇÑ´Ù.
Scintillator ÀÇ Ã»º¸¶ó»öÀÇ ºûÀÌ ±¤ÀüÀÚÁõ¹è°üÀÇ ±¤Àü¸é (Photo Cathode) ¿¡ ºÎ‹HÇô, ±¤ÀüÀÚ (1Â÷ÀüÀÚ) ¸¦ ¹æÃâÇϸç, ÀÌ ±¤ÀüÀÚ¸¦ 10 ´ÜÁ¤µµÀÇ Dynode ¿¡ ÀÇÇØ ±âÇϱ޼öÀûÀ¸·Î Áõ°¡ (¾à 106 ¹è) ½ÃÄÑ, ºñ·Ê°è¼ö°ü°ú °°ÀºÁ¤µµ (¼ö mV) ÀÇ Pulse ·Î Ãâ·ÂµÈ´Ù.

Scintillator ÀÇ ¹ß±¤¾çÀº ÀÔ»çX¼± ±¤·®ÀÚÀÇ Energy ¿¡ ºñ·ÊÇϹǷΠEnergy ¼±º°ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
Energy ºÐÇØ´ÉÀº ºñ·Ê°è¼ö°ü º¸´Ù ³ª»Ú´Ù.
ÀâÀ½ÀÌ ºñ±³Àû ¸¹°í, X¼±ÀÇ ÆÄÀåÀÌ 3 ÀÌ»óÀÌ µÇ¸é, Signal ÀÇ ÆÄ°í°¡ ÀâÀ½°ú °ÅÀÇ °°¾Æ ±¸º°ÀÌ ¾î·Æ´Ù.

°è¼ö°üÀÇ °è¼öÈ¿À²Àº º¯È¯µÈ Pulse ÀÇ ¼ö¸¦ ÀÔ»çX¼± ±¤·®ÀÚÀÇ ¼ö ¿¡¼­ »« °ªÀ¸·Î Ç¥½ÃÇϸç, °è¼öÈ¿À²ÀÇ Graph ¸¦ ´ÙÀ½ ±×¸²¿¡ Ç¥½ÃÇß´Ù.

°è¼ö°ü±æÀÌ (mm)Window Àç·á
Giger Ar 550 mmHg100Mica 0.013 mm
Proportional Xe 320 mmHg20Mica 0.013 mm + Be 0.13 mm
Scintillation NaI(Tl)1Be 0.13 mm

Counter ÀÇ °è¼öÈ¿À² (°è»ê°ª)

SC ´Â X¼±È¸Àý(X-Ray Diffraction)¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ÆÄÀ念¿ª¿¡¼­ ´ëºÎºÐ 100 % ºÎ±ÙÀÌ°í, °è¼öÈ¿À²ÀÇ Á¡¿¡¼­ ¾Æ¸£°ï(Ar) PC º¸´Ù ÁÁ´Ù.

3) °è¼ö°üÀÇ Energy ºÐÇØ´É°ú ÆÄ°íºÐ¼®±â

(1) Energy ºÐÇØ´É

´ÙÀ½ ±×¸²Àº ÀÏÁ¤ÇÑ Energy ¸¦ °¡Áö°í ÀÖ´Â X¼±(´Ü»öX¼±, Monochromated X-Rays) ¿¡ ÀÇÇØ ¾ò¾îÁö´Â Pulse ÀÇ ÆÄ°í°ªÀ» ÆÄ°íºÐ¼®±â¿¡ ÀÇÇÏ¿© ºÐ¼®ÇÑ ÆÄ°íºÐÆ÷°î¼± (Pulse Height Distribution Curve) ÀÌ´Ù.

ºñ·Ê°è¼ö°ü¿¡ ÀÇÇÑ ÆÄ°íºÐÆ÷°î¼±

h ¸¦ °è¼ö°üÀÇ Energy ºÐÇØ´É (Energy Resolution) À̶ó°í Çϸé, h ´Â ´ÙÀ½½ÄÀ¸·Î Ç¥½ÃµÈ´Ù.

h = e X 100 (%)
-----
E

h: Energy ºÐÇØ´É
e: ÆÄ°íÀÇ ¹Ý°¡Æø
E: Æò±Õ ÆÄ°í°ª

Æò±ÕÆÄ°í°ª(Mean Pulse Height Value) E ´Â °è¼ö°ü¿¡ °É¸®´Â Àü¾Ð, ÁõÆø±âÀÇ À̵濡 µû¶ó¼­ ´Ù¸£°í, Energy ºÐÇØ´ÉÀº ÀÏÁ¤ X¼±¿¡ ´ëÇÏ¿© °ÅÀÇ ÀÏÁ¤ÇÏ´Ù.

´Ü»öX¼±(Monochromated X-Rays)À» °è¼ö°ü¿¡ ÀÔ»ç ½ÃÄѵµ ¹ß»ýµÇ´Â ÆÄ°í°ªÀº ºÐ»êÀÌ »ý±â°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ°ÍÀº X¼±(X-Rays) ±¤·®ÀÚ°¡ 1Â÷ÀüÀÚ·Î º¯È¯µÇ´Â °úÁ¤ÀÌ Random ÇÏ°Ô ÀϾ¹Ç·Î, Åë°èÀûÀÎ ºÐ»ê ³ªÅ¸³­´Ù.

¿¹¸¦µé¾î ¾Æ¸£°ï ºñ·Ê°è¼ö°ü¿¡ CuKa (8 KeV) ÀÇ ±¤·®ÀÚ¸¦ ÀÔ»ç ½ÃÄÑ ¹ß»ýµÇ´Â 1Â÷ÀüÀÚ´Â ¾à 300 °³ À̸ç, ±× Åë°èÀûÀÎ ºÐ»êÀº 300 = 17 °³·Î ¾à 6 % °¡ µÈ´Ù.
½ÇÁ¦´Â ÀüÀåÀÇ ºÒ±ÕÀϼº µîÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© Energy ºÐÇØ´ÉÀº 20 % ÀüÈÄ°¡ µÈ´Ù.
SC ´Â ±¤ÀüÀÚÁõ¹è°üÀÇ ±¤ÀüÀÚ¸é ¿¡¼­ »ý±â´Â 1Â÷ÀüÀÚÀÇ ¼ö´Â CuKa ¿¡¼­ 10 ~ 15 °³ À̸ç, ºÐ»êÀº 30 ~ 40 % °¡ µÇ¸ç, ½ÇÁ¦·Î ÃøÁ¤µÇ´Â Energy ºÐÇØ´ÉÀº 40 ~ 60 % °¡ µÈ´Ù.

(2) Escape Peak

ÀÔ»çX¼±(Incident X-Rays)ÀÇ ¿¡³ÊÁö°¡ °è¼ö°üÀÇ ±¤·®ÀÚ Èí¼öü(¿¹¸¦µé¾î Ar Gas)ÀÇ Èí¼ö´Ü ¿¡³ÊÁö º¸´Ù Å©¸é, ÆÄ°íºÐÆ÷°î¼±¿¡ Escape Peak °¡ ³ªÅ¸³­´Ù.
Escape Peak ÀÇ À§Ä¡´Â ´ÙÀ½½ÄÀ¸·Î ³ªÅ¸³¾ ¼ö ÀÖ´Ù.

Escape Peak ÀÇ Energy = ÀÔ»çX¼±(Incident X-Rays)ÀÇ Energy - Èí¼öüÀÇ Æ¯¼ºX¼±(Characteristic X-Rays) Energy

¿¹¸¦µé¾î, ¾Æ¸£°ï (ArKa 2.96 KeV) À» »ç¿ëÇÑ ºñ·Ê°è¼ö°ü¿¡ CuKa (¾à 8 KeV) °¡ ÀÔ»çµÇ´Â °æ¿ì, CuKa ÀÇ Escape Peak ¿¡³ÊÁö´Â ¾à 5 KeV ¿¡ »ó´çÇÑ´Ù.
¸¸¾à 8 KeV °¡ ÆÄ°í°ª 1 V (PHA ÀÇ Base line 200) ¿¡ Á¶Á¤ µÇ¾ú´Ù¸é, Escape Peak ´Â ¾à 0.625 V (PHA 125) ÀÇ À§Ä¡¿¡ ³ªÅ¸³­´Ù.

´Ù¸¥ ¿¹¸¦µé¸é, NaI (IKa 28.6 KeV) ¸¦ »ç¿ëÇÑ Scintillation Counter ¿¡ 40 KeV ÀÇ ¿¬¼ÓX¼±(Continuous X-Rays)ÀÌ ÀÔ»çµÇ´Â °æ¿ì, CuKa (¾à 8 KeV) °¡ 1 V (PHA 200) ¿¡ Á¶Á¤ µÇ¾ú´Ù¸é, ¿¬¼ÓX¼±(Continuous X-Rays)ÀÇ Escape Peak ´Â 11.4 KeV ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â 1.43 V (PHA 286) ¿¡ ³ªÅ¸³­´Ù.

Escape Peak ´Â ½ÇÁ¦ÀÇ È¸ÀýÃøÁ¤ °á°ú¿¡µµ (¿¡³ÊÁö°¡ Å« ¿¬¼ÓX¼±(Continuous X-Rays)¿¡ ÀÇÇØ) 2q °¡ 5 ~ 15o ºÎ±Ù¿¡ Broad ÇÑ Peak °¡ È®ÀεȴÙ.

À§ÀÇ µÎ¹ø° ¿¹ ¿¡¼­, SC + PHA ÀÇ Á¶ÇÕÀ» ÇÏ¿©, ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ ½Ã·á¿¡ ÀÇÇØ È¸ÀýµÈ ´ÜÆÄÀåÃøÀÇ ¿¬¼ÓX¼±¿¡ ÀÇÇÑ Escape Peak °¡ PHA ÀÇ Window ¸¦ Åë°úÇÏ¿© Pulse °¡ µÈ °æ¿ì, Escape Peak °¡ »ý±ä´Ù.
°üÀü¾ÐÀ» ¿ä¿ÀµåÀÇ Ka ÀÇ ¿©±âÀü¾Ð (33.2 KV) ÀÌÇÏ·Î Çϰųª, Monochromator ¸¦ »ç¿ëÇϸé Escape Peak ´Â ȸÀý °á°ú¿¡´Â ³ªÅ¸³ªÁö ¾Ê´Â´Ù.

½Ç¼±Àº Kb Filter ¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀº °æ¿ì
Á¡¼±Àº Kb Filter ¸¦ »ç¿ëÇÑ °æ¿ì

´Ü°áÁ¤½Ã·á(d °¡ ÀÏÁ¤)¿¡ PHA ¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀº °æ¿ì

´Ü°áÁ¤½Ã·á(d °¡ ÀÏÁ¤)¿¡ Kb Filter ¹× PHA ¸¦ »ç¿ëÇÑ°æ¿ì

´Ù°áÁ¤½Ã·á¿¡ Kb Filter ¹× PHA ¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀº °æ¿ì

´Ù°áÁ¤½Ã·á¿¡ Kb Filter ¹× PHA ¸¦ »ç¿ëÇÑ°æ¿ì

S-PC ´Â SC ¿Í ´Þ¸®, ´ÜÆÄÀå ¹× ÀåÆÄÀåÀÇ ¿¬¼ÓX¼±(Continuous X-Rays)¿¡ ´ëÇÏ¿© °è¼öÈ¿À²ÀÌ ³ª»Ú¹Ç·Î, Counter ÀÚü°¡ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â ¿¬¼ÓX¼±(Continuous X-Rays)À» Count ÇÏÁö ¸øÇÑ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î S-PC ´Â PHA ¸¦ º¸Åë »ý·«ÇÑ´Ù.
ÀÌ °æ¿ì, Escape Peak ´Â ȸÀý°á°ú¿¡ ³ªÅ¸³ªÁö ¾Ê´Â´Ù.

(3) ÆÄ°íºÐ¼®±â (Pulse Height Analyzer, PHA)

°ËÃâ±â¿¡ µé¾î°£ X¼±(X-Rays)Àº ¿ÏÀüÇÑ ´Ü»öÀÌ ¾Æ´Ï¹Ç·Î, ½Ã·á¿¡¼­ ȸÀý(Diffraction)µÈ Ư¼ºX¼±(Characteristic X-Rays) ¿Ü¿¡, ¿¬¼ÓX¼±(Continuous X-Rays), ½Ã·á·Î ºÎÅÍÀÇ Çü±¤X¼±(Fluorescence X-Rays) µî ÇÊ¿ä¾ø´Â X¼±(X-Rays)µµ Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´Ù.
°ËÃâ±â¿¡ »ý±ä ÆÄ°í(Pulse Height)°¡ ÀÔ»çX¼±ÀÇ ¿¡³ÊÁö¿¡ ºñ·ÊÇÏ´Â °ÍÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÆÄ°íºÐº°À» Çϸç, ÇÊ¿äÇÑ Pulse ½ÅÈ£¸¦ Àü±âÀûÀ¸·Î Cut ½ÃÅ°´Â ÆÄ°íºÐ¼®±â (Pulse Height Analyzer, PHA) °¡ ÀÖ´Ù.

´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ °ËÃâ±â¿¡ »ý±ä Pulse ÀÇ Æò±ÕÆÄ°í´Â ÀÔ»çX¼±(Incident X-Rays)ÀÇ ¿¡³ÊÁö¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.

ÆÄ°í°ªÀÇ ¼±ÅÃ

PHA ¸¦ Target ÀÇ Æ¯¼ºX¼±(Characteristic X-Rays), ¿¹¸¦µé¾î CuKa °¡ Åë°ú Çϵµ·Ï ¼³Á¤Çϸé, CuKa ¿Í ÆÄÀåÀÌ ´Ù¸¥ ´ëºÎºÐÀÇ X¼±(X-Rays)À» Cut ½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.
À§ÀÇ ±×¸²¿¡¼­ ´ëºÎºÐÀÇ CuKa ´Â PHA ¸¦ Åë°ú ÇÏÁö¸¸, MoKa, CrKa ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â X¼±(X-Rays)Àº PHA ¸¦ Åë°úÇÏÁö ¸øÇÑ´Ù.

SC ¿¡ »ý±ä ¼ö mV ÀÇ Pulse ´Â ºñ·ÊÁõÆø±â·Î ÁõÆøµÇ¾î, ¼±º°±â(Discriminator) ¿¡ µé¾î°¡ ÆÄ°í¼±º°ÀÌ µÈ´Ù.

´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ ÆÄ°í¼±º°±â¿¡´Â 2°³ÀÇ ¼±º°±â°¡ ÀÖÀ¸¸ç, ³·Àº Level À» ÇÏÇѼ±º°±â(Lower Level Discriminator), ³ôÀº Level À» »óÇѼ±º°±â(Upper Level Discriminator) ¶ó°í ÇÑ´Ù.

ÆÄ°í¼±º°±â

ÆÄ°í°¡ ³·Àº Pulse 1 Àº ÇÏÇѼ±º°±â¿¡ ÀÇÇØ, ÆÄ°í°¡ ³ôÀº 3 Àº »óÇѼ±º°±â¿¡ ÀÇÇØ Ãâ·ÂµÇÁö ¾Ê°í, 2 ´Â Level A ¿¡´Â µ¿ÀÛÇϳª, Level B ¿¡´Â µ¿ÀÛÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

PHA ÀÇ ÀÔ·Â Pulse

»óÇÑ, ÇÏÇÑ Level »çÀÌÀÇ Æø (Window, Channel width)) À» ÃæºÐÈ÷ ÀÛ°í ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ÇÏ¿©, ÇÏÇÑÀÇ Level (Base line) À» ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î º¯È­ ½ÃÅ°¸é¼­ ÃøÁ¤Çϸé, ´ÙÀ½ ±×¸²°ú °°ÀÌ ÀÔ»çX¼±(Incident X-Rays)ÀÇ ÆÄ°íºÐÆ÷¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ°ÍÀ» ¹ÌºÐ°î¼±(Diffrential Curve) À̶ó°í ÇÑ´Ù.

¹ÌºÐ°î¼±
(2q ¸¦ ȸÀý Peak À§Ä¡¿¡ °íÁ¤)

»óÇÑ Level ÀÌ ¾øÀÌ ÇÏÇÑ Level (Base line) À» ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î º¯È­½ÃÄÑ, ÇÏÇÑ Level º¸´Ù ³ôÀº ÆÄ°í¸¦ ÃøÁ¤Çϸé, ÀÔ»çX¼±(Incident X-Rays)ÀÇ ÆÄ°íºÐÆ÷¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ°ÍÀ» ÀûºÐ°î¼±(Integral Curve) À̶ó°í ÇÑ´Ù.
´ÙÀ½ ±×¸²Àº ¹ÌºÐ°î¼±°ú ÀûºÐ°î¼±ÀÇ »óÈ£ °ü°è¸¦ Ç¥½ÃÇÑ´Ù.

¹ÌºÐ°î¼± °ú ÀûºÐ°î¼±

´ÙÀ½ ±×¸²Àº ÀÏÁ¤°­µµÀÇ ´Ü»öX¼±(Monochromated X-Rays)À» °è¼ö°ü¿¡ ÀÔ»ç ½ÃÅ°¸ç, Base line, Window ¸¦ ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ÇßÀ»¶§ÀÇ HV - °è¼öÈ¿À²°î¼±À» Ç¥½ÃÇÑ´Ù.
ÀÌ ±×¸²Àº À§ ±×¸²À» ¹Ý´ë·Î ±×¸°°Í°ú °°´Ù.

HV - °è¼öÈ¿À²°î¼±

´ÙÀ½ ±×¸²µéÀº PHA ÀÇ µ¿ÀÛÀ» Àß ¾Ë±â ½±°í, ÀÌÇØÇϱ⠽¬¿î ±¸Ã¼ÀûÀÎ ¿¹¸¦ Ç¥½Ã Çß´Ù.

°¢ Ư¼ºX¼±(Characteristic X-Rays)ÀÇ ¼­·Î´Ù¸¥ ÀûºÐ°î¼±
(INT, °üÀü¾Ð = 30 KV, HV = 850 V)

°¢ Ư¼ºX¼±(Characteristic X-Rays)ÀÇ ¼­·Î´Ù¸¥ ¹ÌºÐ°î¼±
(DIFF X 0.1, Window = 100, °üÀü¾Ð = 30 KV, HV = 850 V)

Main Amp ÀÇ Coarse Gain ¿¡ ÀÇÇÑ ÆÄ°í°ªÀÇ À̵¿
(DIFF X 0.1, Window = 100, Cu Target, 30 KV, HV = 850 V)

HV ¿¡ ÀÇÇÑ ÆÄ°í°ªÀÇ À̵¿
(DIFF X 0.1, Window = 100, Cu Target, 30 KV)

Window ÀÇ Å©°Ô ÀÛ°Ô ÇÔ¿¡ ÀÇÇÑ ÆÄ°í°ªÀÇ À̵¿
(Cu Target, 30 KV, HV = 850 V)

¶Ç, ¿ÀÇØÇϱ⠽¬¿îÁ¡¿¡ ´ëÇÏ¿© ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ Ç¥½Ã Çß´Ù.

a) ÆÄ°í¿Í X¼±°­µµ(X-Rays Intensity)¸¦ È¥µ¿ÇÏÁö ¸»¾Æ¾ß ÇÑ´Ù.
ÆÄ°í´Â Pulse Àü¾ÐÀÇ Å©±âÀ̸ç, X¼±°­µµ(X-Rays Intensity)´Â ´ÜÀ§½Ã°£ µ¿¾È »ý±ä Pulse ÀÇ ¼ö ÀÌ´Ù.

b) Æò±ÕÆÄ°í´Â X¼±(X-Rays) ±¤·®ÀÚ°¡ °¡Áö°íÀÖ´Â Energy ¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.(l ¿¡´Â ¿ªºñ·Ê ÇÑ´Ù.)
¶Ç, ÆÄ°í´Â ±¤ÀüÀÚÁõ¹è°ü¿¡ °É¸®´Â HV ¹× Main Amp ÀÇ Gain (À̵æ) ¿¡ µû¶ó¼­ º¯ÇÑ´Ù.

c) ÁõÆø¿¡ ÀÇÇÏ¿© X¼±°­µµ(X-Rays Intensity)°¡ Áõ°¡µÇÁö ¾Ê´Â´Ù.
ÁõÆøÀº °è¼öȸ·Î¿¡ ÀÇÇÑ Pulse ÀÇ °è¼ö¸¦ ¿ëÀÌÇÏ°Ô ÇÏ´Â°Í À̹ǷÎ, Pulse ÆÄ°í¸¦ Å©°ÔÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï´Ù.
X¼±°­µµ(X-Rays Intensity)´Â ´ÜÀ§½Ã°£ µ¿¾ÈÀÇ PulseÀÇ ¼ö À̹ǷÎ, Counter ¿¡ µé¾î¿Â X¼±(X-Rays)·®ÀÌ ÀÏÁ¤Çϸé, X¼±(X-Rays) ±¤·®ÀÚÀÇ Èí¼öÀÇ ÃÑÇÕ (¾çÀÚ°è¼öÈ¿À²) ¿¡ ÀÇÇÑ °á°úÀÌ´Ù.

d) °è¼öȸ·Î³»ÀÇ 1°³ÀÇ Pulse´Â 1 msec Á¤µµÀÇ ½Ã°£Àû °£°ÝÀ» °®°í ÀÖ´Ù.
X¼±(X-Rays)ÀÇ °è¼öÀ²ÀÌ 20000 cps (Ãß°¡È¸·Î¸¦ ³ÖÀ¸¸é ¾à 200,000 cps) Á¤µµÀÌ»ó À¸·ÎµÇ¸é, °¢ Pulse ÀÇ ÁßøÀ¸·Î X¼±(X-Rays)ÀÇ ¼ö°¡ ¶³¾îÁø°Í ó·³ º¸ÀδÙ.

5. ÀåÄ¡ Ãë±Þ»óÀÇ ÁÖÀÇÁ¡

1) Àü¹ÝÀûÀÎ ÁÖÀÇÁ¡

(1) X¼±(X-Rays)Àº Àü¸®ÀÛ¿ëÀ» ÀÏÀ¸Å°°í, ÀÎü¿¡´Â À¯ÇØÇϹǷÎ, X¼±(X-Rays)¿¡ ³ëÃâµÇÁö ¾Êµµ·Ï ÃæºÐÈ÷ ÁÖÀÇÇÏ¿© ÀÛ¾÷ÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù.

a) ÀÛ¾÷ÀÚ´Â Film Badge ¸¦ Âø¿ëÇÑ´Ù.
b) ¹æÈ£±â±¸¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
c) Direct Beam ÀÇ ÁøÇàÀ» ¸·´Â´Ù.(Pb 1 mm ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ÀÌ»óÀÇ °Í)
d) Shutter ÀÇ °³Æó¸¦ È®ÀÎÇÑ´Ù.
e) X¼±ÀÌ ³ª¿À´Â °÷Àº Àü¿øÀÌ OFF µÇ¾úÀ»¶§ ¿Ü¿¡´Â ¸¸ÁöÁö ¾Ê´Â´Ù.
f) 2ÀÎ ÀÌ»óÀÌ µ¿½Ã¿¡ ÀÛ¾÷Áß¿¡´Â X¼±Á¶»ç¸¦ ¼­·Î È®ÀÎÇÑ´Ù.
g) ÇÇÆø»ç°í, ÀåÄ¡ÀÇ ÀÌ»óÀ» È®ÀÎÇÑ °æ¿ì¿¡´Â ¼ÓÈ÷ Àü¿øÀ» ²ô°í ÀåÄ¡ÀÇ °ü¸®ÀÚ¿¡°Ô ¿¬¶ôÇÑ´Ù.

(2) °¢Á¾ º¸¾Èȸ·ÎÀÇ ¼³Á¤À» ÇÊ¿ä¾øÀÌ º¯°æÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

(3) ÀåÄ¡°¡ ¼³Ä¡µÇ¾î ÀÖ´Â ¹æÀº ¿Âµµ Control ÀÌ °¡´É¸é ÁÁ´Ù.
°¢µµ ¹× °­µµÀÇ Á¤¹ÐÃøÁ¤À» Çϱâ À§Çؼ­´Â Ç׿½ÇÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

(4) ÀåÄ¡ÀÇ ¼³¸í¼­¸¦ ÃæºÐÈ÷ ÀÐ°í »ç¿ëÇÑ´Ù.

2) X¼±°ü (X-ray Tube)

(1) óÀ½ »ç¿ëÇÏ´Â X¼±°ü(X-ray Tube) ¶Ç´Â Àå±â°£ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀº X¼±°ü(X-ray Tube)Àº Aging ÇÏ¿© »ç¿ëÇÑ´Ù.
¸ÅÀÏ »ç¿ëÇÏ´Â °æ¿ì¿¡µµ Àü¾Ð, Àü·ù¸¦ ±ÞÇÏ°Ô º¯È­ ½ÃÅ°Áö ¾Ê´Â´Ù.

(2) X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ Çã¿ëºÎÇÏ, Çã¿ëÀü·ù ÀÌÇÏ¿¡¼­ »ç¿ëÇÑ´Ù.

(3) X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ ±³È¯, Focus ¸¦ ¹Ù²Û°æ¿ì¿¡´Â ³Ã°¢¼ö°¡ Àß È帣´ÂÁö È®ÀÎÇÑ´Ù.

(4) X¼±°ü(X-ray Tube)¿¡ Ãæ°ÝÀ» ÁÖÁö ¾Ê´Â´Ù.

(5) X¼±°ü(X-ray Tube)ÀÇ Window ´Â ¸Å¿ì ¾àÇϹǷΠ°Çµå¸®Áö ¾Êµµ·Ï ÇÑ´Ù.

(6) ¹æÀü¹æÁö À¯¸® ºÎºÐÀ» ¸Ç¼ÕÀ¸·Î ¸¸ÁöÁö ¾Ê´Â´Ù.
À¯¸®ºÎºÐÀº Silicon 󸮰¡ µÇ¾î ÀÖÀ¸¹Ç·Î Èֹ߼º ¿ëÁ¦·Î ´Û´Â´Ù.

3) °íÀü¾Ð ¹ß»ýºÎºÐ

(1) X¼± ¹ß»ýÀåÄ¡(X-ray Generator)ÀÇ °í¾ÐºÎºÐÀÇ º¸¼öÁ¡°ËÀ» ÇÒ ¶§¿¡´Â Àü¿øÀ» ²ô°í, °¡Áö°íÀÖ´Â ÀüÇϸ¦ ÃæºÐÈ÷ Á¢Áö½ÃÄÑ ¹æÀü½ÃÅ°°í, °íÀü¾Ð ȸ·Î¿¡ ´ëÇÏ¿©´Â Áö½ÄÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Â »ç¶÷ÀÌ ÀÛ¾÷ÇÑ´Ù.

(2) º¸Åë °íÀü¾Ð ºÎºÐÀº ÁÖÀ§°¡ µ¤Çô ÀÖÀ¸³ª, µ¤Çô ÀÖÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡´Â Á¢±ÙÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

(3) °íÀü¾Ð Cable Àº X¼±°ü(X-ray Tube)°ú °°ÀÌ °íÀü¾ÐÀÌ °É¸®¹Ç·Î ¹æÀü»ç°í°¡ ¾øµµ·Ï Ç×»ó ±ú²ýÀÌ º¸Á¸ÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù.

4) Goniometer

(1) Goniometer ´Â Á¤¹Ð±â°è À̹ǷΠCounter Arm, ½Ã·áÃà µî¿¡ °­ÇÑ ÈûÀ» °¡ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.
¿¹¸¦µé¾î, Counter Arm À» Àâ°í Goniometer ¸¦ À̵¿Çϰųª, Counter Arm ÀÇ È¸ÀüÀ» ¸øÇÏ°Ô ÇÏ´Â ÈûÀ» °¡Çϰųª, ¹«°Å¿î °ÍÀ» Counter Arm ¿¡ ¿Ã·Á³õÁö ¾Ê´Â´Ù.

(2) Goniometer ÁÖÀ§¿¡ ½Ã·á°¡ ¶³¾îÁö´Â °ÍÀº ÁÁÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î, »ç¿ëÈÄ Ç×»ó ±ú²ýÇÏ°Ô Ã»¼ÒÇØ µÐ´Ù.

5) °è¼ö ±â·Ï ÀåÄ¡

(1) Counter ¿¡ ³Ê¹« °­ÇÑ X¼±(X-rays) (40,000 cps ÀÌ»ó) À» Àå½Ã°£ ÀÔ»ç ½ÃÅ°Áö ¾Ê´Â´Ù.
Direct Beam Àº ¾ÆÁÖ °­ÇϹǷΠÀÔ»çµÇÁö ¾Êµµ·Ï ÇÑ´Ù.
°­ÇÑ X¼±(X-rays)Àº °è¼ö°üÀÇ ¼ö¸íÀ» ´ÜÃà½ÃŲ´Ù.

(2) °è¼ö°üÀº ±â°èÀûÀÎ Ãæ°Ý¿¡ ¾àÇϹǷΠ¶³¾îÆ®¸®Áö ¾Ê°í, °­ÇÑ Áøµ¿À» °¡ÇÏÁö ¾Êµµ·Ï ÇÑ´Ù.